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Tera-256,1024,4096面阵太赫兹相机

Tera-256,1024,4096面阵太赫兹相机

美国Terasense公司基于等离子体激元技术开发出了不同像素的面阵太赫兹相机,主要型号有Tera-256, Tera-1064, Tera-4096,Linear Tera-1024,他们对应的像素分别是16×16,32×32,64×64,256×4,像素尺寸均为1.5×1.5mm。太赫兹相机搭配太赫兹源就可构成一套检测系统,用于科学研究、安全检测、农业检测等领域。

所属品牌: 美国TeraSense

应用类型: 太赫兹

产品型号:Tera-256, Tera-1064, Tera-4096

负责人:刘工
联系电话:13691916712 电子邮箱:ygliu@welloptics.cn

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像素1.5×1.5mm16×16,32×32,64×64,256×4面阵太赫兹相机

 

美国Terasense公司基于等离子体激元技术开发出了Tera系列面阵太赫兹相机,主要型号有Tera-256, Tera-1064, Tera-4096,Linear Tera-1024,他们对应的像素分别是16×16,32×32,64×64,256×4,像素尺寸均为1.5×1.5mmTerasense太赫兹相机选取GaAs 异质结材料,采用超净间光刻制作工艺,确保了等离子体探测器各项参数的稳定性和高的响应度。

Tera系列太赫兹相机每个独立的探测单元在室温下的响应度高达 50KV/W,在 10GHz-1THz 之间的噪声等效功率为 1nW/Hz 1/2 ,像素-像素之间的响应度偏离 20%之内。

 

产品特点:

 频率范围:50GHz-1.0THz          结构紧凑性价比高

● 高响应度:50KV/W                视频模式(50fps

NEP1nW/Hz 1/2                 自带 Terasense Viewer 软件

● 室温操作                             USB 5V 供电
1 年质保期

 

主要应用:

太赫兹成像   

医疗诊断

安防监控

缺陷鉴定

油品质量控制

 

Terasense太赫兹相机的规格参数:

 

型号

Tera-256

Tera-1024

Linear Tera-1024

Tera-4096

像素

256  像素(16×16)

1024  像素(32×32)

1024  像素(256×4)

4096 像素(64×64)

像素尺寸

1.5×1.5mm

1.5×1.5mm

1.5×1.5mm

1.5×1.5mm

响应度

50KV/W

50KV/W

50KV/W

50KV/W

NEP

1nW/Hz(1/2)

1nW/Hz(1/2)

1nW/Hz(1/2)

NEP 1nW/Hz(1/2)

设备尺寸

10cm×10cm×5.5cm

10cm×10cm×5.5cm

44cm×4.3cm×8.9cm

16.5cm×16.5cm×4.5cm

 

 

 

Terasense太赫兹相机基本原理

TeraSense的Tera系列太赫兹相机的原理是基于等离子体激元技术(Plasmonics。在二十一世纪初,等离子体激元还是一个经过长期研究的基础学科方向,近几十年来,这一领域的研究大量涌现。等离子体波能够应用于太赫兹探测的重要特性是:亚波长尺度的电磁辐射受到限制。最近,在半导体AlGaAs / GaAs纳米结构的纯度方面取得了进展,使得等离子体济源的厄应用范围从光谱光学区域拓展到微波和太赫兹(THz)波段变得可能。


然而不利的条件是,标准的二维(2D)等离子体振子只有在频率ω> 1 /τ时才可观察到,其中动量弛豫时间τ基本上随着温度的升高而降低。 因此,表面等离子体效应仅在足够大的频率和足够低的温度下才可见。实际上,仅能在低于80K的低温下观察到频率<500GHz的二维等离子体波。这一事实严重地阻碍了用于等离子体电子学的太赫兹应用的发展。

相对等离子体激发(relativistic plasma excitations)则可以有效避免这个限制,相对等离子体激发是一种在门控二维电子系统中发现的新型等离子体波。这些弱阻尼的等离子体波在高电导率的2πσ> c电子系统中激发,具有强烈的极化特性,这种相对等离子体在微波和亚太赫兹频率范围能够在室温条件下被观测。

TeraSense太赫兹相机的探测器中,通过沉积在晶体表面上的宽带天线结构将THz辐射转换成相对论等离子体波的交变电势。此外,由于等离子体波导的不对称性,等离子体波的交变电位被整流以产生测量的光响应信号。 可以选择检测器的几何形状以匹配特定的THz频带。

 

Tera-256, Tera-1064, Tera-4096太赫兹相机的生产制造

Terasense公司的成像芯片生产由几个主要工序组成,这些光刻步骤是在TeraSense半导体工厂的特殊洁净室条件下进行的。TeraSense设施在步行区域具有1000级(ISO 6)洁净室条件,在设备下具有100ISO 5)条件。

对于砷化镓晶圆的图案化结构生产,海纳光学代理的TeraSense拥有一条特殊的生产线。支持基础设施包括水净化系统,纯气体装置,光刻胶旋转器,湿台,UV曝光系统,金属沉积系统,检查显微镜,光刻胶灰化系统和离子蚀刻系统。为了实现和检测尺寸小于一微米的结构,TeraSense使用电子束光刻。电子束光刻使用精细聚焦的电子束来曝光抗蚀剂材料。

 

 

文献资料

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