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半自动探针系统

半自动探针系统

美国Micromanipulator专利的微操作器P200L 200mm半自动探针系统有多种功能,如单点地面和集成热吸盘管道。P200L半自动探针平台有非常好的可靠性和精度,结构特征包括丝杠-导丝螺母台和台板驱动器,一个不锈钢台板,可拆卸前楔和高稳定性显微镜桥,P200L半自动探针微操作台是一款支持所有高分辨率的长工作距离显微镜的显微镜半自动探针台。除了P200L半自动探针系统外,美国Micromanipulator还自主研发了包括型号P300L探针系统,P300J电动手动探针系统和P300A探针系统的半自动探针系统,它们的性能也非常强劲,相较与P200L晶圆半自动探针平台有过之无不及。

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支持所有高分辨率显微镜,P200L, P300L ,P300J和P300A半自动探针平台


微操作器P200L 200mm半自动探头站的标准功能,如单点地面和集成热吸盘管道。P200L的可靠性和精度,特点是丝杠-导丝螺母台和台板驱动器,一个不锈钢台板,可拆卸前楔和高稳定性显微镜桥,支持所有高分辨率的长工作距离显微镜。

定制P200L为两种流行的主机控制方法:

-直接指向标准的非基于windows的控制器,或者

-直接到可选的NetProbe 7软件释放的权力,包括晶圆地图,集成视频,theta对准,子模,和模式识别

标准的P200L的通用的非基于windows的控制器支持USBGPIB(取决于订购的配置)通信。舞台X-Y和压板(Z)是机动/可编程的。显微镜运动是手动的。该系统可以通过脚本和所有流行的参数测试分析探针驱动器来控制。一个索引脚本与用户GUILabview VI提供了允许使用该系统的开箱即用。

Micromanipulator致力于确保我们的半自动系统是灵活的,以便应用如磁灵敏度测试,探针卡,毫米波,晶片和板级测试。一旦你制定了你的测试计划,我们也有很好的关系,所以如果需要,我们可以把你转移到一个全自动探测器站。

标准的操纵杆控制允许简单和快速的操作时,可编程性是不需要的。操纵杆直观地操纵着台台和台板。P200L可配置一个局部干燥/屏蔽/黑暗环境,“高帽”用于低电平或低温、无霜探测。

支持三种温度范围:

-环境温度(室温)400C

-0 c - 400 c

-65 c到400 c

P200L是高性能、全性能和低成本的200mm半自动探头站的选择。


专为小电流、亚微米定位应用而设计微操作器P200L的标准与特点,如单点地面和集成热吸盘管道。建造的可靠性和精度,P200L的特点是丝杠-螺帽舞台和压板驱动器,不锈钢压板与可移动的前面楔型和高稳定性显微镜桥,支持所有高分辨率长工作距离显微镜。P200L的通用控制器支持USB, GPIB, RS-232TCP/IP通信(配置了适当的选项)。舞台x - y和压板(Z)是机动/可编程的。显微镜机动可编程控制也是一种选择。这个系统可能是通过脚本控制和所有流行的参数检验分析检测器驱动程序。提供了一个索引脚本与用户GUILabview VI允许使用开箱即用的系统。可编程轴也可以通过可选的netProbe7来控制软件具有广泛的GUI特色导航,晶圆地图,子模具和视频应用程序和路由器应用的GPIB连通性(单独订购netProbe7)。操纵杆控制允许简单和快速的操作时可编程性不是必需的。操纵杆直观地操作台台和台板(Z)。操纵杆控制系统显微镜X-YZ用于这样配置的系统。P200L可配置局部干/屏蔽/暗环境(选项显示在照片与前楔打开)和低水平或低温探测用“礼帽”。P200L是一个高性能,充分的站的选择能力和成本效益200毫米半自动探头站。

P200L半自动探针微操作台特性概述:

-高稳定性的机加工底座和显微镜桥为小目标探测支持所有高分辨率显微镜。

-不锈钢板支持真空或磁性底座操纵器和提供长寿命有吸引力的完成。可移动的前楔板为机械手和进入提供了额外的空间端口配置为本地干/暗环境时。

-舞台结构特点是浇注舞台核心和交叉辊稳定和坚固的轴承结构。导螺杆-铅螺母阶段和压板驱动器提供高精度,以及在大的接触面积上分布驱动力,使用寿命长。

-紧凑的外形提高了稳定性,并提供了较小的空间足迹最小化实验室空间需求。

-就地控制工位/滚筒(和可选的显微镜)X-Y-Z驱动器由操纵杆提供。

可编程控制的舞台/压板通过用户主机接口(USB)RS-232标准,GPIBTCP/IP可用)通过高层索引应用程序与X-Y索引和Platen Up/下定位控制提供标准。国家仪器Labview控件库和控制器VI提供标准可编程轴也可以通过可选的netProbe7来控制软件具有广泛的GUI特色导航,晶圆地图,子模具和视频应用程序和路由器应用的GPIB连通性(单独订购netProbe7)


美国Micromanipulator P200L半自动探针平台规格:

-脚印(宽度x深度)22.75x 23.35(57.7 x 59.3 cm)

-站宽、深、高28.5 " x 26.75 " x 21.5 " (72.5 x 68.0 x 55.0厘米)250(115公斤)

-200级x 200mm (x - y)x 25mm (Z - platen)驱动范围:支持高达200mm的晶圆片/样品。

-级分辨率0.5微米,精度+/- 5 um,重复性+/- 2 um,支持探测最小的目标。

-不锈钢(磁性)滚筒4点电动/可编程1um分辨率丝杠驱动器+/- 1um可重复性:手动控制0.7 um分辨率- 15度范围标准。可选电动/可编程的theta驱动器。

-手动显微镜100 x 100mm (x - y) x 50mm (Z)额外32mm Z显微镜的机械定位标准。机动/可编程显微镜驱动器(见图)可选的。


Micromanipulator P200L半自动探针系统全系列的配件和选项,包括:

独立显微镜抬升,可调显微镜抬升延迟(如图所示,带压盘升降显微镜)可选集成干/暗外壳:提供EMF屏蔽和外壳为低温查克干燥探头卡持有人,轻型密封外壳,热卡盘,视频配件、手动/电动机械手。


Micromanipulator P200L半自动探针系统全系列的主要应用:

-200mm半自动测片机

-可选的NETPROBE-7控制软件与晶圆地图,集成视频,theta对准,子模,和模式识别

-受欢迎的测试公司包括KeysightKeithleyLabVIEW都可以提供驾驶员

-可配置的直流,射频,微波,和高功率的应用

-65℃到400℃可配置


型号P300L探针系统,P300J电动手动探针系统和P300A探针系统的半自动探针系统:

由于型号P300L探针系统,P300J电动手动探针系统和P300A探针系统的半自动探针系统和P200L半自动探针系统规格相近这里不一一列举,有需要的客户可以向工作人员咨询规格书。

它们的全系列的配件和选项,主要包括:

探头卡持有人,轻型密封外壳,热夹头,视频配件,手动/电动操作器。


型号P300L探针系统,P300J电动手动探针系统和P300A探针系统设备要求:

-测试站:真空:25 in-Hg

-控制器:85265 VAC, 47-63 Hz, 2.4安培,典型


型号P300L探针系统,P300J电动手动探针系统和P300A探针系统试验台尺寸(宽、深、高、重):

-站姿:33 " x 40 "全系列的配件和选项,包括:探头卡持有人,轻型密封外壳,热夹头,视频配件,手动/电动操作器。

-测试站:真空:25 in-Hg

-控制器:85265 VAC, 47-63 Hz, 2.4安培,典型

试验台尺寸(宽、深、高、重):

-站姿:33 " x 40 " x 33 " (84 x 102 x 84厘米)480(218公斤)

-控制器独立-尺寸取决于配置 x 33 " (84 x 102 x 84厘米)480(218公斤)

-控制器独立-尺寸取决于配置

文献资料

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