作者：戴xl 时间：2025-01-10
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki公司的摆动平台精度测量涵盖多项关键指标。位置精度方面，如重复定位精度、摆动中心高度、摆动中心位置精度及空行程等，通过特定的定位与计算方式得出，重复定位精度与停止位置偏差值相关，摆动中心高度取决于理想摆动中心到上台面的距离等。姿态精度以单位扭矩负载下的角位移定义为扭矩刚度。最小位移量（MIM）在特定位置测量，采用精密仪器和特定方法验证，以OSMS-60A60为例展示了相关数据，为客户理解摆动平台精度测量提供了重要参考，有助于客户更好地认识西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki公司产品在精度测量上的卓越表现。
摆动平台精度测量/电动角位台精度测量/电动弧摆台精度测量电动俯仰台精度测量-位置精度
在平台的任意位置，从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的最大值。定义其数值中的最大值为重复定位精度。从理想摆动中心到上台面的距离为摆动中心高度。
图1：摆动平台精度测量/电动角位台精度测量/电动弧摆台精度测量电动俯仰台精度测量（a）重复定位精度（b）摆动中心高度
摆动平台在全行程动作过程中，实际摆动中心位置与理想中心位置的最大偏差范围。在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的最大值为空行程。
图2：摆动平台精度测量/电动角位台精度测量/电动弧摆台精度测量电动俯仰台精度测量（a）摆动中心位置精度（b）空行程
摆动平台精度测量/电动角位台精度测量/电动弧摆台精度测量电动俯仰台精度测量-姿态精度
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义在单位扭矩负载下的平台的角位移为其扭矩刚度。
图3：摆动平台精度测量/电动角位台精度测量/电动弧摆台精度测量电动俯仰台精度测量扭矩刚度
摆动平台精度测量/电动角位台精度测量/电动弧摆台精度测量电动俯仰台精度测量-最小位移量（MIM）
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的最小移动分辨率为最小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。
（参考数据）最小位移量（MIM）OSMS-60A60
图4：参考OSMS-60A60型号最小位移量（MIM）
