光束整形器是应用最广泛的衍射光学元件(DOE)之一,英文名为Beam shaper,其作用是获得能量分布均匀、边界陡峭,同时具有特定形状的平顶光斑(Top-hat)。平顶光束整形器又称为光束整形DOE,平顶光束整形,高斯整平顶、高斯光整形成平顶光透镜,Top-Hat, 1064nm 532nm 355nm 10.6μm激光整形
所属品牌: 以色列Holo/Or
应用类型: 高端激光加工
产品型号:ST-235-I-Y-A
负责人:叶高兴
联系电话:13670216712
电子邮箱:gxye@welloptics.cn
把高斯光整形成几十~几百微米平顶光斑,均匀性好于90%,效率最高95%的光束整形器
光束整形器是Holo/Or最常用的衍射元件(DOE)之一,英文名称Beam shaper,简称整形镜,其作用是获得能量分布均匀、边界陡峭,同时具有特定形状的平顶光斑,也可称为平顶帽式(Top-hat)光斑。光斑尺寸一般在几十微米到几百微米的范围,光斑形状可以是圆形,矩形,正方形,直线,椭圆或可以根据客户需求进行定制。
当激光光束经过平顶光束整形器后,它能使光斑的能量分布得到均匀的处理,达到平顶光的效果。这个特性用于激光加工可以防止特定区域过度曝光或曝光不足。 此外,形成的平顶光斑的特点是创造了一个尖锐的过渡区,清晰的区分了处理和未处理区域之间的边界。
入射光M2值的影响
光束整形器产生的平顶光效果与入射光有很大的关系,一般要求M2值小于1.3,越小越好,如果M2变大,则平顶效果随之变差,即平顶光斑的均匀性变差且边界陡峭性变差。在这种情况下,需要引入光阑和准直系统,或空间滤波器(spatial filter)对入射激光进行处理。典型的平顶光整形系统由一个激光器,一个平顶光整形元件和一个聚焦镜组成。
光束整形镜对入射的高斯光束进行相位调制而在聚焦镜的近焦平面上得到想要的平顶光斑,需要强调的是平顶光斑并不是聚焦镜的焦平面上获得的,而是在距离焦平面仅有几个um的平面上,因此安装平顶光束整形器时需要进行细致的三维调节以获得最佳效果。
Holoor光束整形器的特点:
1. 高质量的平顶激光光斑,高度均匀性、高光效、边缘陡峭
2. 高能量阈值/高损伤阈值,适用于大功率激光器
3. 可选择增透膜,使整体效率>95%
4. 覆盖紫外到红外的所有激光波段,193nm to 10.6um
5. 几百种标准规格供客户挑选
光束整形器的应用:
由于激光整形元件在微米级的尺度上能够获得高度均匀、边缘陡峭的光斑,在激光加工中能够得到非常精密的加工效果,消除热效应等因素的影响。
激光切割,焊接,划线、激光划片
有机薄膜处理,太阳能电池板切割,LED灯丝处理,聚合物薄膜切割等
激光钻孔,激光烧蚀,激光熔融,激光快速成型,激光3D打印
Holoor光束整形器的部分标准规格
1) 对入射波长266nm,工作距离100mm的部分相关参数如下:
型号 |
波长[nm] |
光束直径[mm] |
镜片尺寸[mm] |
光斑尺寸[um] |
光斑形状 |
266 |
6 |
25.4 |
58 |
正方形 |
|
266 |
6 |
25.4 |
43 |
正方形 |
|
257 |
5 |
25.4 |
23´39 |
矩形 |
2) 对入射波长355nm,工作距离100mm的部分相关参数如下:
型号 |
波长[nm] |
光束直径[mm] |
镜片尺寸[mm] |
光斑尺寸[um] |
光斑形状 |
355 |
4 |
11 |
17 |
正方形 |
|
355 |
6 |
25.4 |
57 |
正方形 |
|
355 |
4.3 |
25.4 |
106 |
圆形 |
|
355 |
5 |
25.4 |
74´136 |
矩形 |
|
355 |
7 |
25.4 |
153´19098.7 |
矩形(线) |
3) 对入射波长532nm,工作距离100mm的部分相关参数如下:
型号 |
波长[nm] |
光束直径[mm] |
镜片尺寸[mm] |
光斑尺寸[um] |
光斑形状 |
532 |
7 |
20 |
33 |
正方形 |
|
532 |
6 |
25.4 |
56 |
正方形 |
|
532 |
6 |
25.4 |
85 |
正方形 |
|
532 |
5.95 |
25.4 |
98 |
圆形 |
4) 对入射波长10.6 um,工作距离100mm的部分相关参数如下:
型号 |
波长[um] |
光束直径[mm] |
镜片尺寸[mm] |
光斑尺寸[um] |
光斑形状 |
10.6 |
6 |
25.4 |
1702 |
正方形 |
|
10.6 |
10 |
25.4 |
204 |
正方形 |
5) 对入射波长1064nm,工作距离100mm的部分相关参数如下:
型号 |
波长[um] |
光束直径[mm] |
镜片尺寸[mm] |
光斑尺寸[um] |
光斑形状 |
1064 |
4 |
11 |
53 |
正方形 |
|
1064 |
10 |
25.4 |
20 |
圆形 |
|
1064 |
3.2 |
12.7x12.7 |
2277.1 |
直线 |
|
ST-238-I-Y-A |
1064 |
10 |
25.4 |
20 |
正方形 |
ST-276-I-Y-A |
1064 |
10 |
25.4 |
21 |
直线 |
ST-278-I-Y-A |
1064 |
9 |
25.4 |
23 |
直线 |
ST-237-I-Y-A |
1064 |
9 |
25.4 |
23 |
圆形 |
ST-236-I-Y-A |
1064 |
9 |
25.4 |
23 |
正方形 |
ST-235-I-Y-A |
1064 |
8 |
25.4 |
26 |
正方形 |
ST-240-I-Y-A |
1064 |
8 |
25.4 |
26 |
圆形 |
ST-275-I-Y-A |
1064 |
8 |
25.4 |
26 |
直线 |
ST-303-I-Y-A |
1064 |
7.5 |
25.4 |
28 |
圆形 |
ST-230-I-Y-A |
1064 |
7 |
20 |
29 |
圆形 |
ST-277-I-Y-A |
1064 |
7 |
25.4 |
30 |
直线 |
ST-234-I-Y-A |
1064 |
7 |
25.4 |
30 |
正方形 |
ST-282-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
34 |
正方形 |
ST-281-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
34 |
直线 |
ST-286-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
35.0x270.0 |
长方形 |
ST-287-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
35.5x299.0 |
长方形 |
ST-239-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
35 |
圆形 |
ST-279-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x300.0 |
长方形 |
ST-284-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x210.0 |
长方形 |
ST-283-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x180.0 |
长方形 |
ST-262-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x210.0 |
长方形 |
TH-257-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x539.0 |
长方形 |
ST-264-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.5x269.0 |
长方形 |
ST-261-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
35.8x178.0 |
长方形 |
ST-288-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x330.0 |
长方形 |
ST-280-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.5x330.0 |
长方形 |
ST-263-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x239.0 |
长方形 |
ST-285-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.0x240.0 |
长方形 |
ST-265-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
37.2x209.1 |
长方形 |
ST-266-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
36.9x239.5 |
长方形 |
ST-301-I-Y-A |
1064 |
5.7 |
12.5 |
37 |
圆形 |
ST-299-I-Y-A |
1064 |
5.7 |
11 |
40 |
圆形 |
TH-256-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
40.0x479.0 |
长方形 |
ST-222-I-Y-A |
1064 |
5 |
25.4 |
41 |
圆形 |
ST-270-I-Y-A |
1064 |
5 |
11 |
43 |
直线 |
ST-221-I-Y-A |
1064 |
4.7 |
25.4 |
44 |
圆形 |
ST-296-I-Y-A |
1064 |
4.5 |
11 |
46 |
直线 |
ST-225-I-Y-A |
1064 |
4.5 |
25.4 |
47 |
正方形 |
ST-298-I-Y-A |
1064 |
4.5 |
11 |
47 |
圆形 |
ST-302-I-Y-A |
1064 |
5.7 |
12.5 |
48 |
圆形 |
TH-258-I-Y-A |
1064 |
10 |
25.4 |
48 |
正方形 |
ST-300-I-Y-A |
1064 |
5.7 |
11 |
49 |
圆形 |
TH-239-I-Y-A |
1064 |
4.7 |
12.5 |
51 |
直线 |
ST-269-I-Y-A |
1064 |
4 |
11 |
52 |
直线 |
ST-219-I-Y-A |
1064 |
4 |
11 |
52 |
圆形 |
ST-273-I-Y-A |
1064 |
5 |
25.4 |
52 |
圆形 |
TH-105-I-Y-A |
1064 |
7.5 |
25.4 |
54 |
圆形 |
PT-001-I-Y-A |
1064 |
6 |
30 |
56 |
正方形 |
ST-295-I-Y-A |
1064 |
3.5 |
11 |
59 |
直线 |
ST-289-I-Y-A |
1064 |
3.5 |
11 |
60 |
圆形 |
ST-207-I-Y-A |
1064 |
10 |
25.4 |
60 |
圆形 |
ST-290-I-Y-A |
1064 |
3.5 |
11 |
60 |
正方形 |
TH-253-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
65.0x297.0 |
长方形 |
ST-293-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
68 |
正方形 |
ST-260-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
69 |
圆形 |
ST-268-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
69 |
直线 |
TH-249-I-Y-A |
1064 |
3.2 |
12.5 |
74 |
直线 |
ST-292-I-Y-A |
1064 |
2.5 |
11 |
81 |
正方形 |
TH-254-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
81.0x236.0 |
长方形 |
ST-294-I-Y-A |
1064 |
2.5 |
11 |
83 |
直线 |
ST-297-I-Y-A |
1064 |
2.5 |
11 |
84 |
圆形 |
ST-272-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
87 |
圆形 |
TH-215-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
100 |
圆形 |
ST-212-I-Y-A |
1064 |
7 |
20 |
100 |
正方形 |
ST-291-I-Y-A |
1064 |
2 |
11 |
102 |
正方形 |
ST-259-I-Y-A |
1064 |
2 |
11 |
104 |
圆形 |
ST-267-I-Y-A |
1064 |
2 |
11 |
104 |
直线 |
TH-255-I-Y-A |
1064 |
12 |
25.4 |
110.0x177.0 |
长方形 |
ST-271-I-Y-A |
1064 |
2 |
11 |
130 |
圆形 |
ST-314-I-Y-A |
1064 |
1.5 |
11 |
139 |
圆形 |
ST-315-I-Y-A |
1064 |
1.5 |
11 |
139 |
正方形 |
ST-313-I-Y-A |
1064 |
1.5 |
11 |
139 |
直线 |
TH-260-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
171 |
正方形 |
ST-312-I-Y-A |
1064 |
1 |
11 |
208 |
直线 |
ST-308-I-Y-A |
1064 |
1 |
11 |
208 |
正方形 |
ST-307-I-Y-A |
1064 |
1 |
11 |
208 |
圆形 |
TH-002-I-Y-A |
1064 |
12 |
27.94 |
240 |
正方形 |
ST-206-I-Y-A |
1064 |
10 |
25.4 |
270 |
直线 |
ST-223-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
300 |
直线 |
TH-259-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
319 |
正方形 |
TH-221-I-Y-A |
1064 |
2.2 |
11 |
320 |
正方形 |
PT-005-I-N-A |
1064 |
5 |
25.4 |
329 |
圆形 |
PT-005-I-Y-A |
1064 |
5 |
25.4 |
329 |
圆形 |
ST-258-I-Y-A |
1064 |
10 |
25.4 |
390 |
直线 |
TH-246-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
420 |
圆形 |
TH-248-I-Y-A |
1064 |
5 |
25.4 |
560.0x94.0 |
长方形 |
TH-238-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
600 |
圆形 |
TH-220-I-Y-A |
1064 |
1.125 |
11 |
620 |
正方形 |
ST-231-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
870 |
直线 |
TH-228-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
1000 |
圆形 |
ST-229-I-Y-A |
1064 |
4 |
11 |
1200 |
正方形 |
TH-227-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
1330 |
圆形 |
TH-015-I-Y-A |
1064 |
5.1 |
25.4 |
1450 |
直线 |
TH-013-I-Y-A |
1064 |
7 |
25.4 |
1750 |
正方形 |
ST-232-I-Y-A |
1064 |
3 |
11 |
1767 |
直线 |
TH-252-I-Y-A |
1064 |
6 |
25.4 |
2000.1 |
圆形 |
PT-006-I-Y-A |
1064 |
2 |
12.7 |
4030.5x5711.6 |
椭圆形 |
PT-002-I-Y-A |
1064 |
7.5 |
40x40 |
4518.8x264.0 |
长方形 |
许多高端激光加工要求加工特定的区域,不损伤周边的材料,这意味着激光的能量需要正好合适,不会太多也不会太少,而且在加工的区域能量均匀分布。光束整形器就是专门针对这一要求而设计的,其可以把高斯光整形成圆形、…