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法国Phasics波前探测器,波前分析仪

法国Phasics波前探测器,波前分析仪

本文主要介绍法国Phasics的波前探测器,所有系列的产品以及产品参数对比,应用对比,优势对比,对比的产品主要有Phasics SID4 波前传感器,SID4 UV-HR高分辨紫外波前传感器,SID4-HR 波前相差仪,SID4 NIR 波前分析仪和SID4 DWIR 波前仪。

所属品牌: 法国Phasics

应用类型:

产品型号:SID4, SID4 UV-HR, SID4-HR, SID4 DWIR, SID4 LWIR, SID4-SWIR, SID4-NIR, SID4-UV, SID4 V Vacuum

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深紫外到远红外全波段覆盖,高分辨率,高采样率

法国Phasics 四波横向剪切干涉波前分析仪

 

法国PHASICS是一家波前传感器生产厂家,它具有雄厚的技术研发实力和研发经验,完全能为客户提供的各种自适应的光学系统(Adaptive Optics Loops) OA-SYS。同时,设计个性化解决方案,并且根据客户应用的需求,向客户提供最合适的可变形镜,SID4波前传感器、空间光调制器或者自适应光学系统操作软件等。

法国PHASICS公司拥有自主研发的波前传感器,这种仪器是基于四波横向剪切干涉技术而设计的。SID4系列波前探测器与传统的夏克-哈特曼波前探测器比较,法国Phasics波前分析仪具有高动态检测范围、消色差、高分辨率、消色差、操作简便,高灵敏度等优势。可以向波前畸变、波前相差探测以及光束质量及波前参数的测量、分析;眼科的虹膜定位以及波前像差引导等提供了完整的优秀的解决方案!PHASICS波前探测器软件界面具有易用性,能够明了的输出高分辨率的相位图和光束强度的分布图。

本文的产品主要有:适用于常用波段的SID4波前传感器用于红外波段的型号:SID4 DWIR, SID4 LWIR, SID4-SWIR, SID4-NIR; 高分辨率的SID4 UV-HR,  SID4-HR; 最后是深紫外波段的SID4-UVSID4 UV-HR。所有的波段都能够有适合的产品为您提供,并且有高采样点的型号和普通标准的型号等等。

法国Phasics SID4 波前传感器的特点:

SID4可用于400nm-1000nm 的激光的波前像差,强度分布,波前位相、泽尼克参数, 激光的M2等进行实时的测量及参数输出。

-可直接测量:消色差设计,测量前无需再次对波长校准,消色差:干涉和衍射对波长相消

-高分辨率:最多采样点可达120000个(160x120),测量稳定性高

-内部光栅横向剪切干涉,防震设计,无需隔震平台也可测试,对实验条件要求简单

-高动态范围:高达500μm

-波长范围:400-1100nm

 

SID4 UV-HR高分辨紫外波前传感器的特点:

PHASICS公司将 SID4的测量波长范围:190nm-400nmSID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前探测器,非常适用于光学元件测量(例如印刷、半导体等等)和表面检测(半导体晶片检测等)。

-高分辨率(250x250

-通光孔径大(8.0mmx8.0mm

-覆盖紫外光谱

-灵敏度高(0.5um

-优化信噪比

SID4-HR 波前相差仪特点:

能够进行对透镜、光学系统实时的PSF(点扩散函数)、OTF(光学传递函数)、MTF(调制传递函数)以及波前像差测量和参数输出。与传统的透镜检测设备比较:干涉仪,传函仪、具有测量精度高,操作简便,参数输出方便等优势。

-曝光时间极短,保证动态物体测量

-波长范围:400-1100nm

-实时测量,立即给出整个物体表面的信息(120000个测量点)

-高性能的相机,信噪比高,操作简单

 

SID4 NIR 波前分析仪

其主要针对1550 nm1.5um-1.6um)激光进行检测的仪器,具有分辨率高,高动态范围、高灵敏度、操作简便等独特的优势。是红外透镜像差,光学测量和红外物体、MTFPSF以及焦距和表面质量测量的理想工具。

-高分辨率(160x120

-快速测量

-绝对测量

-对振动不敏感

-性价比高

 

SID4 UV 波前分析仪

其主要针对250-450nm激光进行检测的仪器,具有分辨率高,高动态范围、高灵敏度、操作简便等独特的优势。完美适用于UV光学测试,UV激光表征(用于光刻,半导体......)和表面检测(透镜和晶圆......)光学测量和MTFPSF以及焦距测量。

-非常高的分辨率-250×250相位图

-高灵敏度 - 2 nm RMS

-经济实惠的紫外波前测量解决方案

SID4 DWIR/ SID4 LWIR/ SID4-SWIR波前仪

拥有宽波段波前探测的特点。实时的检测3-5um以及8-14um的强度分布和波前位相等的波前信息。可以很好的应用于红外波段应用的波前检测需求。

-光学测量:SID4 DWIR是测量红外物体特性(热成像和安全视觉)或红外透镜(CO2激光器)的理想工具,输出结果包括MTFPSF,像差,表面质量和透镜焦距。

-光束测量:(CO2激光器,红外OPO激光光源等等)此型号可以提供详尽的光束特性参数:M2,像差,光束特性,光强分布等

-可实现离轴测量,可实现绝对测量,性价比高

-高分辨率(96x72,快速测量 对振动不敏感

-可覆盖中红外和远红外波段 大数值孔径测量,无需额外中转透镜

 

法国Phasics波前相差仪主要应用:

-光学系统质量分析:MTF, PSF, EFL, 泽尼克系数, 光学镜头/系统质量控制

-激光光束参数测量:相位(2D/3D),M2,束腰位置,直径,泽尼克/勒让德系数

-生物应用:蛋白质等组织定量相位成像

-自适应光学:焦斑优化,光束整形

-热成像分析,等离子体特征分析

-元器件表面质量分析:表面质量(RMSPtVWFE),曲率半径

 

法国Phasics波前探测器参数规格对比

型号

SID4

SID4-HR

SID4-DWIR

SID4-SWIR

SID4-NIR

SID4 UV-HR

SID4-UV

SID4 V Vacuum

SID4 LWIR

孔径mm

3.6×4.8

8.9×11.8

13.44×10.08

9.6×7.68

3.6×4.8

8.0 x 8.0

7.4×7.4

4.73x3.55

16x12

分辨率μm

29.6

29.6

68

120 µ

29.6

32

29.6

29.6

100

采样点

160 × 120

400×300

160 × 120

80 × 64

160 × 120

250 x 250

250×250

160x120

160x120

波长 nm

400-1100

400-1100

3~5µm

8~14µm

0.9~1.7µm

1.5~1.6µm

190-400

250~450

400-1100

8-14 µm

动态范围

>100µm

>500µm

N/A

~ 100µm

> 100µm

 

>200µm

 

 

nmRMS

10

15

75

10

> 15

10

20

15

25

灵敏度(同上)

< 2

< 2

< 25

<3/1

< 11

0.5

2

15

75

采样频率fps

> 60

>10

>50

25-60

60

> 30

30

60

24

处理频率Hz

10

3

20

> 10

10

1 fps

> 2

7

>10fps

尺寸mm

54×46×75.3

54×46×79

85×116×179

50×50×90

44×33×57.5

95x105x84

53×63×83

54x46x75.3

96x110x90

重量 g

250

250

1.6kg

300

250

~900

450

250

850

 

夏克哈特曼和四波横向剪切干涉波前分析仪对比表

 

Phasics剪切干涉

夏克哈特曼

区别

技术

四波侧向剪切干涉

夏克-哈特曼

PHASICS SID4是对夏克-哈特曼技术的改进,投放市场时,已经申请技术专利,全球售出超过500个探测器。

重建方式

傅里叶变换

分区方法(直接数值积分)或模式法(多项式拟合)

夏克-哈特曼波前探测器,以微透镜单元区域的平均值来近似。对于大孔径的透镜单元,可能会增加信号误差,在某些情况,产生严重影响。在分区方法中,边界条件很重要。

光强度

由于采用傅里叶变换方法,测量对强度变化不敏感

由于需要测量焦点位置,测量对强度变化灵敏

关于测量精度,波前测量不依赖于光强度水平

使用、对准方便

界面直观,利用针孔进行对准

安装困难,需要精密的调节台

SID4 产品使用方便

取样(测量点)

SID4-HR300*400测量点

128*128测量点(微透镜阵列)

SID4-HR具有很高的分辨率。这使得测量结果更可靠,也更稳定

数值孔径

SID4 HR NA0.5

0.1

SID4-HR动态范围更高

空间分辨率

29.6μm

>100μm

SID4-HR空间分辨率更好

灵敏度

2nmRMS

约λ/100

SID4-HR具有更好的灵敏度 

 

总体而言,在空间分辨率和灵敏度而言基于剪切干涉技术的波前分析仪都比夏克哈特曼为基础的波前分析仪要更为优秀。采样点更多,准确度更高分辨率也更高。安装便捷,配套的软件功能丰富。基于傅里叶变换,将时域转换为频域分析使得其不依赖光强变化,更加的敏感,但可能不能估计光强的变化。一定条件下,它是选择作为激光质量分析,透镜质量监控,光学表面测量,以及成像的更优选择。

文献资料

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