PRIOR纳米定位设备

15μm行程，带宽高达1KHz，亚纳米精度，毫秒级响应时间，Queensgate纳米定位设备（Nanopositioning Devices）

英国PRIOR旗下的Queensgate系列纳米定位设备（Nanopositioning Devices）拥有悠久而成功的历史，其专家团队拥有丰富的知识和经验，能够提供一系列OEM纳米定位解决方案。

Queensgate系列产品有纳米定位设备，纳米定位平台，纳米传感器，控制器和电子设备，还包括纳米定位执行器/转换器和软件等各种纳米技术产品。

一、OEM纳米定位平台

型号：NPS-X-28C纳米定位平台，30μm行程范围, Nanopositioning

NPS-X-28C是为高速，超精密MR磁头和磁盘驱动器测试应用而开发的OEM纳米定位平台。它体积小，毫秒响应时间非常适合高可靠性和高吞吐量的应用。NPS-X-28C纳米定位平台具有低移动质量和高刚度相结合，并且提供极高的带宽。

NPS-X-28C纳米定位设备采用电容式传感器设计，提供亚纳米位移测量和超过30微米范围的闭环反馈。设备具有高精度的运动，很大程度上避免寄生运动。结合Queensgate的数字闭环控制器，NPS-X-28C可以实现毫秒响应和稳定时间（settle times）。

NPS-X-28C 30  OEM纳米定位平台的特点：

· >30μm行程，亚纳米分辨率

· 第一谐振频率> 4.5KHz

· 带宽高达1KHz

· 原位扫描和步进响应优化

· 稳定可靠，即插即用设施，可实现低停机时间。

控制器型号：

NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器

专为控制Queensgate的纳米精密设备而设计。PRIOR的控制器使用现代DSP技术，并结合压电驱动放大器，电容位置传感电路和伺服控制功能，同事还使用PID（比例积分微分）反馈，极大地改善了稳定时间并弱化了机械共振的影响。虚拟前面板软件便于用户控制所有操作参数，包括设置PID循环。

二、Nanopositioning Stages纳米定位平台

PRIOR的Nanopositioning Stages纳米定位平台采用闭环压电驱动技术。产品规格书中列出了纳米平台对应的标准材料，我们还提供众多替代材料，包括Super Invar，不锈钢，钛和铝，应用于真空，辐射，高温兼容等不同的场合。

Queensgate纳米定位平台采用线性或倾斜/旋转形式，具有单轴和多轴配置，采用高性能压电驱动，结合Queensgates独特的电容位置反馈，提供完整的高性能闭环系统。合理设定闭环数字控制器，即可以实现完全即插即用的互换性，使用非常方便。

QGNPS-TG-7A高性能尖端倾斜纳米平台

纳米定位尖端倾斜纳米平台QGNPS-TG-7A专为需要高速，超高精度，光学检测中的反射镜定位、成像系统和激光定位设备而开发。一个的镜子固定在倾斜基座平台上，提供> 7毫弧度的行程，具有亚微弧度分辨率。

QGNPS-TG-7A专为高速带宽而设计，适用于高速应用。 它采用Invar 36结构制造，其低热膨胀系数与大多数光学元件相匹配，可最大限度地减少热变形，并最大限度地减少热位置移动。标准系统提供± 3.5 mrad行程，但可根据要求提供更短距离选项。

QGNPS-TG-7A纳米转动平台的特点：

· 每个轴向有超过7mrad的移动范围，分辨率高达亚微弧度

· Invar 36设计匹配大多数光学元件的热膨胀并最小化任何热位置移动

· 电容式定位传感器提供无与伦比的位置精度和准确度，高位置更新率

· 动态性能，高负载谐振频率以及超过1KHz的超高伺服环路带宽

· 封闭机制，高稳定性和可靠性

· 步进时间<2ms

· 即插即用

QGNPS-TG-7A纳米旋转平台的控制器型号为QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，这款纳米旋转平台可用于激光扫描、激光束稳定、图像处理和稳定、光学滤波器/开关、扫描显微镜（SPM）和激光通信指向设备等领域。

QGNPS-X-15A快速定位微米平台，15μm行程

QGNPS-X-15A 微米级平台是专为高速，超精密MR磁头和磁盘驱动器测试等应用而设计，其具有小巧的尺寸和毫秒的响应时间，非常适合用于高可靠性和高吞吐量的各种应用场合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平台具有低移动质量（low moving mass）和高刚度，提供极高的带宽。

微米平台内部集成了紧凑的内部电容式传感器，可在超过16微米的范围内提供亚纳米位移测量和闭环反馈。提供高纯度的运动，将寄生运动减少到通常1微弧度。结合Queensgate的数字闭环控制器，QGNPS-X-15A可以实现毫秒响应和启动时间。

QGNPS-X-15A快速定位微米平台的特点：

·15微米行程，亚纳米分辨率

·第一谐振频率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)

·负载为50克时响应时间为毫秒级

·原位扫描和步进响应优化

·稳定可靠的工业级产品

·低停机时间，即插即用

QGNPS-X-15A快速定位微米平台的控制器型号可选NPC-D-5200 Digital Controller或NPC-D-6000 Series。其应用领域涵盖磁头和磁盘驱动器测试、干涉测量法、计量学和原子力显微镜探针等领域。

QGNPS-XY-100两轴微米平台（两轴100x100µm平台）

QGNPS-XY-100属于压电扫描弯曲导向平台，带有集成电容位置传感器，能够达到亚纳米级的分辨率和重复性。QGNPS-XY-100的弯曲引导结构能够使两轴微米平台在整个100微米范围内将寄生角运动减少到小于25微弧度。这款两轴微米平台还采用了独特的等静压安装系统，可确保安装系统的应力得到适当的释放，并确定平台的中心作为坐标参考点。

QGNPS-XY-100A双轴100μmx100μm超级不胀钢微米平台——由超级殷钢（CTE 0.3ppm K-1）制成，可最大限度地减少热漂移，这一点对于纳米平台非常重要。配备3点可调安装座。

QGNPS-XY-100D双轴100μmx100μm超级铝微米平台——具有极佳分辨率，快速的XY-100系列动态，非常具有性价比。 配备4个角落安装。

QGNPS-XY-100特点：

· 每个轴行程大于100微米，亚纳米分辨率

· 滞后和线性误差<0.005％

· 第一谐振频率> 350 Hz（NPS-XY-100A），> 500 Hz（NPS-XY-100B），> 650 Hz（NPS-XY-100D）

· 高带宽（> 50 Hz）和快速响应时间

· 原位扫描和步进响应优化

· 与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H配合使用可实现XYZ三轴平移

· 使用超级不胀钢材料（NPS-XY-100A），铝合金（NPS-XY-100B）或铝（NPS-XY-100BD）

QGNPS-XY-100两周微米平台的控制器型号为QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，其可应用于高精度显微镜和原子力显微镜，SPM，NSOM等领域。

Queensgate-规格书

Customization-规格书

• 二轴纳米定位平台MCL
• MCL三轴纳米压电位移台
• 纳米压电物镜定位台MCL
• Nano-Z纳米压电定位台
• 紧凑型纳米压电定位台