ISP可变形反射镜

可断电使用的高稳定性机械式大口径变形镜

ISP系统专业从事精密工程、光学力学和机电一体化等领域，ISP为激光系统和同步变色器开发了带有机电驱动器和定位器的可变形反射镜。自2003年以来，它们被CEA成功地测试出了兆焦耳激光，并取代了压电技术。自2007年以来，ISP系统已经安装了几十个使用微型驱动器的MD-AME可变形反射镜。其主要特点是不存在“print-through”效应，运动线性度高，迟滞率低，在不加电源的情况下具有稳定性。ISP可变形反射镜具有动态校正范围大、维护方便、涂层选择方便、易于对大口径激光束扩展、抗电磁脉冲等优点。它们与高真空兼容，并提出了一种低放气版本，适用于可变形反射镜位于靠近压缩光栅的场合。该设计允许在涂层损坏的情况下很容易地更换涂层。一个主动冷却版本可用于连续激光器的功率高达30千瓦。

变形镜（Md-AME）特点：

-最初的专利技术集中于激光技术人员的需求

-纳米精度波前校正

-对激光束无网格效应

-工作瞳孔：从Ø22mm到Ø800mm，圆形或方形，任何入射角

-低滞后 (< 0.1%)

-良好的线性度(>99%)

-尺寸范围很广，从22毫米到800毫米不等

-控制架

-通过LASQUA集团提供完全自适应光学回路

-与任何波前分析仪和波前校正软件的接口

变形镜（Md-AME）兼容性：

        -主动或被动冷却

        -执行器数量

        - Zernike模式动力学和可实现的阶数

        - 孔径大小和入射角

        - 控制策略

        - 环境兼容性（嵌入式、空间等）

        - 软件环境（Windows、Linux 等）

        - 光学表面涂层（波长、损伤阈值、反射率……）

冷却变形镜（大功率有源光学）特点：

-专利技术

-与ImageOptic合作开发

-配备测微力执行器 (AME) 网络：47个执行器结构

-微力执行器对镜面抛光故障及像差的修正

-对激光束无网格效应

-滞后比压电致动器低(0.1%而不是10%)

–长期稳定性

-控制架

空间变形镜（MD-AME Space）特点：

-空间应用中的波前校正

-提高空间望远镜成像质量

-低滞后

-极低能耗

-低压电源：24V

-低滞后（< 0.1%）

空间变形镜（MD-AME Space）MD85-C-31-SPACE特点：

    -工作瞳孔：直径 85 mm

-金属涂层

-31个执行器 (μ-AME12-Space)

- Zernike order 4

-尺寸Ø180 x 100mm（不包括连接器）

-重量 4kg

MIR变形镜（红外激光应用）特点：

-微力致动器校正的像差

-对激光束无网格效应

-良好的线性度(<99%)

-高稳定性，不含能量

-长期稳定及不包括电力供应

-滞后比压电致动器低(＜0.1%)

-控制架

-工作瞳孔：椭圆形 40 x 57 mm

-镀金 (R > 98% @ λ = 10 µm)

-传导散热2W

-25个执行器

-Zernike ordre 3（不包括活塞）

-尺寸 W 150 x H 110 x D 180（不包括连接器）

-重量 5kg

变形镜ILAO（强激光自适应光学）特点：

-专利技术

-与ImageOptic合作开发

-高光学质量的镜面 (<10 nm rms)

-配备微力执行器(AME)网络：37个或52个执行单元

-滞后比压电致动器低(0.1%而不是10%)

-接触表面力的均匀分布

-在镜子上没有摩擦力或指纹效应

-长期稳定性

-有多种型号，多种尺寸等。

变形镜ILAO（强激光自适应光学）规格：

• MEMS变形镜
• Dynamic-Optics变形镜，自适应镜头
• Phaseform透射式变形镜
• Alpao高速闭环自适应光学系统
• ALPAO可变形模态反射镜