日本Optosigma提供可用于真空腔内的小型真空自动平台，VTAMM60S-20X、VTAMM60S-20XY和VTAMM60S-20Z。Optosigma真空小型电动平台获得CE认证，VTAMM系列结构紧凑，体积小，利于节省空间。Optosigma空小型电动平台台面尺寸仅为60×60mm，行程20mm。Sigmakoki微型真空电动滑台的单个X轴真空自动平台重量仅为0.6kg。
所属品牌： 日本OptoSigma
应用类型：
产品型号：VTAMM60S-20X，VTAMM60S-20XY，VTAMM60S-20Z
负责人：包程鑫
联系电话：13417596712
电子邮箱：cxbao@welloptics.cn
20mm行程，CE认证，结构紧凑，节省空间的微型真空电动位移台
西格玛光机真空小型自动平台VTAMM60S系列是专门针对真空环境中使用或者真空腔内的真空电动滑台，在西格玛光机5相步进电机的基础上，获得CE认证。Sigmakoki微型真空电动滑台分为VTAMM60S-20X、VTAMM60S-20XY和VTAMM60S-20Z三个系列，代替已停产的真空电动平台VSGSP系列。
Optosigma真空小型电动平台在电机部，和极限位置传感器部处，附有1m长的散线。Optosigma还提供底座，镜架等各种真空用产品来适配小型真空电动滑台。真空电动平台VTAMM60S-20X、VTAMM60S-20XY和VTAMM60S-20Z的主要材料为铝合金，真空自动平台采用十字交叉滚柱导轨和精密丝杠φ4mm，导程0.5mm。Sigmakoki微型真空电动滑台的台面尺寸为60×60mm，行程均为20mm。
西格玛光机真空小型自动平台的结构紧凑，节省空间，便于内置于小型真空设备中。
Optosigma真空小型电动平台/真空自动平台VTAMM60S系列的技术指标：
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真空电动平台技术指标 |
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型号 |
VTAMM60S-20X |
VTAMM60S-20XY |
VTAMM60S-20Z |
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机械技术指标 |
行程(mm) |
20 |
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台面尺寸(mm) |
60×60 |
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丝杠(mm) |
精密研磨丝杠直径φ4 导程0.5mm |
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导轨形式 |
十字交又滚柱 |
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主要材料 |
铝合金 |
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表面处理 |
无 |
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自重(kg) |
0.6 |
1.2 |
0.65 |
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精度技术指标 |
分辨率 |
(整步)(μm) |
1 |
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(半步)(μm) |
0.5 |
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最大速度(mm/sec) |
5 |
— |
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重复定位精度(μm) |
6 |
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承载能力(N) |
29.4(3.0kgf) |
19.6(2.0kgf) |
14.7(1.5kgf) |
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空行程() |
5 |
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传感器 |
传感器型号 |
GN-PT5M3B-1（（株）Metrol） |
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极限位置传感器 |
真空接触式（常闭） |
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原点传感器 |
无 |
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近接原点传感器 |
无 |
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微型真空电动位移台的电机/传感器技术指标 |
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电机 |
类型 |
真空用5相步进电机 0.75A/相（ORIENTAL MOTOR（株）） |
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型号 |
A7715-90215KV (□28mm) |
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步距角 |
0.72° |
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传感器 |
输出端电气特性 |
接触式 |
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信号的含义 |
常闭 |
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小型真空电动滑台推荐选用的驱动器/控制器型号 |
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电器系统 |
驱动器 |
SG-5M, MC-S0514ZU. SG-514MSC, MC-7514PCL |
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控制器 |
GSC-01, GSC-02, SHOT-702, GIP-101, HSC-103, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M·HIT-S, PGC-04-U |
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西格玛光机真空小型自动平台VTAMM60S-20X的外形图
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