193nm衰减器AVACS是一款由步进电机驱动，可手动控制或由计算机控制的衰减器(Variable Attenuators)。LaserOptik可变衰减器AVACS透射率高达95%，AOI 0°至45°，AVACS系列衰减器的波长范围是157-2970nm，193nm衰减器专为衰减不同波长的光束而设计，通过倾斜边缘滤光片来改变透射率。193nm激光衰减器LaserOptik包含电源、控制显示屏、操作元件、启动程序、限位装置、计算机接口和水冷装置等，LaserOptik激光衰减器AVACS可提供带手动调节功能的简易外壳。另外，LaserOptik可变激光衰减器还可提供定制产品，欢迎咨询。
所属品牌： 德国LASEROPTIK
应用类型：
产品型号：L-00216
负责人：韦工
联系电话：18927460030
电子邮箱：bqwei@welloptics.cn
157-2970nm，AOI 0°至45°，LaserOptik可变衰减器AVACS
可变衰减器(Variable Attenuators，VA)：
LASEROPTIK提供的可变可变激光衰减器(Variable Attenuators，VA)是通过倾斜边缘滤光片来改变透射率，入射角(AOI) 0°时透射率最高，AOI 0°至45°，波长范围157-2970nm。特别是具有193nm激光衰减器LaserOptik。
反向可变衰减器(Inversely Variable Attenuators, IVA)：
反向可变衰减器(Inversely Variable Attenuators, IVA)工作原理与VA相同，但在AOI 0°时传输率最低。其中，给出的公差表示传输中的最小调谐范围，光束位移可以通过同时使用第二块板或两片滤光片来补偿。若要实现低衰减，建议使用AR涂层第二板。
LASEROPTIK提供的自动可变衰减器控制系统(Automatic Variable Attenuator Control System, AVACS)由步进电机驱动，可手动控制或由计算机控制。AVACS系列衰减器包括电源、控制显示屏、操作元件、启动程序、限位装置、计算机接口和水冷装置。此外，193nm衰减器AVACS还可提供带手动调节功能的简易外壳，该装置专为衰减不同波长的光束而设计，LaserOptik激光衰减器AVACS通过改变光束路径上光学器件的角度来实现各种强度，其中，补偿滤波片用于光束校正。光学镜组不包括在供货范围内，可从LASEROPTIK GmbH（德国加布森，30826）购买各种波长的滤光镜片。
可以通过以下三种不同的方式进行控制：
1. 手动Manual：3个功能按钮和自解释显示屏
2. 模拟Analogue：可连接0-10V直流电，即来自SPS的直流电。
3. 电脑PC：可使用随附的Net "Software软件进行串行接口连接。
图1： LaserOptik可变衰减器AVACS图示
图2：248nm激光衰减器的透射率随入射角变化的曲线图
248nm Variable Attenuator激光衰减器规格：
consisting of
B-00211
VA248nm/0-45° T 90%-2%
T>90% 0-15° (depending on the production tolerance)
T<2% 45°
B-00002
AR248nm/0°
R<0.25%
S-00016
FS-LO-U 50x27x1.5mm
plane
Surface form deviations: 3/4(4) Wedge: <5'
193nm衰减器AVACS的特点：
LaserOptik激光衰减器的基底材料、波长、反射/透射率、入射角、偏振和GDD值等进行优化，另外，还可以根据用户的需求进行全新的设计。
LaserOptik激光衰减器的镀膜类型Coating types参数：
图3：PR通过AOI改变反射/透射比，通过改变AOI（例如0-45°）可以连续改变传输，也可作为反向可变衰减器(IVA)
|
波长λ[nm] |
0°→45°; T= |
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对应的镀膜技术method |
|
157 |
70%→2% |
on CaF2 |
EBE |
|
70%→2% |
on CaF2 |
EBE inversely (IVA) |
|
|
193 |
80%→10% |
|
MS |
|
248 |
90%→2% |
标准 |
EBE |
|
95%→1% |
高功率 |
MS |
|
|
10%→95% |
高功率 |
MS inversely (IVA) |
|
|
266 |
92%→1% |
标准 |
EBE |
|
95%→1% |
高功率 |
MS |
|
|
355 |
92%→1% |
标准 |
EBE |
|
92%→1% |
不偏移 |
IAD |
|
|
532 |
92%→1% |
标准 |
EBE |
|
90%→1% |
不偏移 |
IAD |
|
|
808 |
95%→1% |
不偏移 |
IAD |
|
940 |
95%→1% |
不偏移 |
IAD |
|
1064 |
95%→1% |
|
EBE |
|
95%→1% |
不偏移 |
IAD |
|
|
1550 |
95%→1% |
|
EBE |
|
2940 |
90%→1% |
on CaF2 |
EBE |
*所有数值均为标准涂层的数值，而且这些类型涂层均可提供定制。
可提供如下的EBE、IAD、IP、MS和IBS涂层供选择。
图4：涂层种类
说明：
如无特殊说明，所有数值和图表均已给出。
用于所述波长区域的标准基底材料（主要是熔融石英或CaF2）。
无需考虑后表面。
采用EBE涂层技术，具有良好的性价比。
所有类型均可提供定制涂层。
–––– 虚线显示具有指定放大倍数的缩放曲线
193nm激光衰减器LaserOptik的曲线图：
图5：衰减器曲线图
193nm激光衰减器LaserOptik的配件Components：
- AVACS-主机
- 110/230V，50/60Hz电源
- 电源电缆
- 串行接口电缆
- 模拟控制连接电缆
- 完整版 .NET 软件光盘
- 可伸缩镊子，用于安装光学器件/滤光片
- 运输箱
图6：LaserOptik衰减器配件
