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匀光片匀化镜

匀光片是使用最为广泛的衍射光学元件之一，又叫做匀化镜，激光匀化器，均质器，激光匀光元件，均匀光斑衍射元件，激光匀化DOE，激光均匀片，光束均匀化器或激光扩散片。多数应用是把M2较大的多模激光在特定的距离上转换为圆形、正方形或其它形状的均匀光斑，通常用于激光焊接、除锈等领域。

所属品牌： 以色列Holo/Or

应用类型： 高端激光加工

产品型号：ED-206-I-Y-A、HM-212-A-Y-A

负责人：叶高兴
联系电话：13670216712 电子邮箱：gxye@welloptics.cn

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输出毫米级的均匀光斑，工作距离10mm~几千米

匀光片基本介绍：

Holo / Or激光匀光片，又叫激光扩散片，英文名为Beam Homogenizer / Optical Diffuser，使用匀化镜能把单模或多模的准直输入光束，转换为能量分布高度均匀的光斑。光斑的波长和形状轮廓都可自定义，形状一般为圆形、正方形、直线、长方形、六边形、椭圆形等任意形状。光束均化镜在许多需要明确定义光斑形状和随机扩散强度分布的应用中有很大作用。

通常，输入激光的参数（单模/多模）很大程度上决定了匀光片的输出质量：

多模激光在与光束均化器一起使用时实际上具有优势，因为它们较低的相干性会降低斑点的可见性并因此产生比单模激光输入更均匀的能量分布。大体上，我们可以将激光分为两种：

1. M2<5的单模激光，其相干性很好，在这种情况下，能实现很陡峭的边界，匀化效果较好，不过不是绝对的均匀（有少量波纹）。对于光束质量较好的入射激光，匀化片还会出现0级衍射的极大点，位于目标光斑正中心。

2. M2>5的多模光，这时入射激光通常为发散角较大，而不是一个近高斯的光束。这种情况下，匀化器得到的光斑均匀性会大大加强，得到一个非常理想的平顶，完全消除波纹，同时边界的过渡区会拉长，表现为边界不再陡峭/锐利

单模、多模光匀化的优缺点：

	单模激光，高斯光束	多模激光
图案精确性	好	好
均匀性	均匀性较好，有暗斑	好
边界	非常锐利	M2越大，边界越宽
效率	可以设计	可以设计
零级亮点	非常敏感，明显	几乎没有

激光均匀光片的材料一般可以选择熔融石英、塑料、玻璃，适用的波长范围为193nm~10.6um，激光匀化DOE的表面微结构台阶数可设计成2阶、4阶、8阶、16阶，DOE元件的尺寸范围2mm~100mm。DOE可镀增透膜，整体衍射效率达到75% - 98%。

同时，Holo/Or激光均匀化元件可以直接使用或结合聚焦镜使用，直接使用的话可以得到在一定范围内得到任意发散角图案。如果配合聚焦镜使用，可以在焦平面内得到所需光斑的大小的衍射图案。

匀光片的特点

适用于单模或多模输入光束

材质为石英、玻璃或塑料

可以实现任意光斑形状，可灵活定制

准确的光斑发散角，发散角范围从毫弧度到41°（mrad~ 41deg）

匀光片的应用：

激光均化/成形

激光材料加工：穿孔，烧蚀，钻孔，打标，划线和焊接

医疗/美容激光治疗

准分子激光器的光束成形

Holo/Or高均匀性激光均匀化元件（High homogeneity, HH Diffuser）

0级中心亮点的问题困扰着很多客户，国内的产品一般都不能很好地客服这个问题。为了解决这个问题，Holoor推出了一套高均匀性激光匀化片。其通过精巧的设计，采用双衍射面的方案，用第一个衍射面降低入射激光的相干性，第二个衍射对激光进行扩散，这样就能够得到具有更高的均匀性和更低的的零阶效应。使M2<5的单模激光也能得到非常好的匀化效果，使激光匀化DOE满足各种入射激光光束的要求。

激光匀光片的选型

设计或选型激光均匀化元件首先需要知道如下激光参数

激光波长和M2

输出光斑图形

输出光斑发散角θ

Holoor匀光片的标准规格

1) 对入射波长355nm，工作距离100mm的部分相关参数如下：

型号	激光波长[nm]	角度°[deg]	光斑尺寸[mm]	镜片尺寸mm	光斑形状
HM-358-U-Y-A	355	0.30x0.61	0.52x1.06	38.1	矩形
HM-271-U-Y-A	355	0.67x0.67	1.17x1.17	25.4	方形

2) 对入射波长532nm，工作距离100mm的部分相关参数如下：

型号	激光波长[nm]	角度°[deg]	光斑尺寸[mm]	镜片尺寸mm	光斑形状
HM-212-Q-Y-A	532	0.25x0.25	0.44x0.44	25.4	方形
HM-260-Q-Y-A	532	1.00	1.75	25.4	线形

3) 对入射波长800nm，工作距离100mm的部分相关参数如下：

型号	激光波长[nm]	角度°[deg]	光斑尺寸[mm]	镜片尺寸mm	光斑形状
HM-328-800-Y-A	800	3.76x3.76	6.56x6.56	11	方形
HM-310-800-Y-A	800	22.43x22.43	39.66x39.66	10x10	方形
HM-367-800-Y-A	800	7.59x7.59	13.27x13.27	25.4	方形

4) 对入射波长980nm，工作距离100mm的部分相关参数如下：

型号	激光波长[nm]	角度°[deg]	光斑尺寸[mm]	镜片尺寸mm	光斑形状
HM-387-K-Y-A	980	13.75	24.22	25.4	线形
HM-310-K-Y-A	980	27.57x27.57	49.07x49.07	10x10	方形
HM-367-K-Y-A	980	9.30x9.30	16.27x16.27	25.4	方形

5) 对入射波长1064nm，工作距离100mm的部分相关参数如下：

型号	激光波长[nm]	角度°[deg]	光斑尺寸[mm]	镜片尺寸mm	光斑形状
HM-353-I-Y-A	1064	15.00	26.33	38.1	线形
HM-315-I-Y-A	1064	25.00	44.34	10x10	线形
RD-227-I-Y-A	1064	1.00	1.75	25.4	圆形
RD-222-I-Y-A	1064	0.16	0.28	15	圆形
RD-221-I-Y-A	1064	0.16	0.28	11	圆形
RD-245-I-Y-A	1064	0.19	0.33	12.7x12.7	圆形
GD-241-I-Y-A	1064	0.3	0.52	11	高斯形
HM-323-I-Y-A	1064	0.3	0.52	25.4	正方形
RD-220-I-Y-A	1064	0.33	0.58	11	圆形
HM-285-I-Y-A	1064	0.36x0.66	0.63x1.15	25.4	长方形
GD-242-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	高斯形
RD-256-I-Y-A	1064	0.5	0.87	14.1x14.1	圆形
RD-213-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	圆形
HM-283-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	11	正方形
HM-200-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	11	正方形
HM-201-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	25.4	正方形
RD-211-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	圆形
RD-247-I-Y-A	1064	0.5	0.87	25.4	圆形
HM-263-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	直线
RD-228-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	圆形
HM-212-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	25.4	正方形
HM-307-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	25.4	正方形
DF-200-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	11	正方形
RD-203-I-Y-A	1064	0.5	0.87	25.4	圆形
HM-262-I-Y-A	1064	0.5	0.87	25.4	直线
HM-288-I-Y-A	1064	0.54x0.54	0.94x0.94	38.1	正方形
HM-272-I-Y-A	1064	0.55x0.55	0.96x0.96	25.4	正方形
HM-264-I-Y-A	1064	0.60x0.60	1.05x1.05	25.4	正方形
RD-202-I-Y-A	1064	0.75	1.31	25.4	圆形
RD-227-I-Y-A	1064	1	1.75	25.4	圆形
RD-255-I-Y-A	1064	1	1.75	14.1x14.1	圆形
HM-289-I-Y-A	1064	1	1.75	11	直线
HM-213-I-Y-A	1064	1.00x1.00	1.75x1.75	22	正方形
HM-276-I-Y-A	1064	1.00x1.00	1.75x1.75	25.4	正方形
RD-231-I-Y-A	1064	1	1.75	20	圆形
RD-254-I-Y-A	1064	1	1.75	20	圆形
ED-201-I-Y-A	1064	1.23x0.79	2.15x1.38	15	椭圆形
ED-203-I-Y-A	1064	1.23x0.79	2.15x1.38	25.4	椭圆形
ED-202-I-Y-A	1064	1.23x0.79	2.15x1.38	11	椭圆形
HM-308-I-Y-A	1064	1.35x1.35	2.36x2.36	10x10	正方形
RD-216-I-Y-A	1064	1.6	2.79	25.4	圆形
ED-207-I-Y-A	1064	1.71x0.84	2.98x1.47	25.4x25.4	椭圆形
ED-204-I-Y-A	1064	1.71x0.84	2.98x1.47	25.4	椭圆形
RH-206-I-Y-A	1064	2	3.49	11	圆形
HM-281-I-Y-A	1064	2	3.49	11	直线
RD-206-I-Y-A	1064	2	3.49	11	圆形
RH-218-I-Y-A	1064	2	3.49	18	圆形
RD-204-I-Y-A	1064	2	3.49	25.4	圆形
HM-271-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	正方形
HM-203-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	正方形
HH-211-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	正方形
HH-214-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	11	正方形
RD-232-I-Y-A	1064	2	3.49	11	圆形
HM-210-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	11	正方形
HM-284-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	11	正方形
HM-211-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	正方形
RH-217-I-Y-A	1064	2	3.49	25.4	圆形
HM-260-I-Y-A	1064	2	3.49	25.4	直线
HM-322-I-Y-A	1064	2.06x7.55	3.60x13.20	18	长方形
HH-217-I-Y-A	1064	2.06x7.55	3.60x13.20	18	长方形
HM-217-I-Y-A	1064	2.06x7.55	3.60x13.20	18	长方形
HD-200-I-Y-A	1064	2.15	3.75	18	Hexagonal
HH-208-I-Y-A	1064	2.75x2.75	4.80x4.80	25.4	正方形
HM-208-I-Y-A	1064	2.75x2.75	4.80x4.80	25.4	正方形
ED-205-I-Y-A	1064	2.76x1.87	4.82x3.26	25.4	椭圆形
HM-327-I-Y-A	1064	3	5.24	11	直线
RD-246-I-Y-A	1064	3	5.24	15	圆形
HM-324-I-Y-A	1064	3.38x3.38	5.90x5.90	10x10	正方形
RD-252-I-Y-A	1064	3.44	6.01	15	圆形
HM-303-I-Y-A	1064	3.60x14.40	6.29x25.27	15	长方形
ED-206-I-Y-A	1064	3.80x2.92	6.63x5.10	25.4	椭圆形
HM-290-I-Y-A	1064	4.00x4.00	6.98x6.98	11	正方形
HM-291-I-Y-A	1064	4	6.98	11	直线
RH-224-I-Y-A	1064	4	6.98	15	圆形
RH-220-I-Y-A	1064	4	6.98	20	圆形
RH-215-I-Y-A	1064	4	6.98	25.4	圆形
RD-215-I-Y-A	1064	4	6.98	25.4	圆形
RD-237-I-Y-A	1064	4	6.98	11	圆形
HM-328-I-Y-A	1064	5.00x5.00	8.73x8.73	11	正方形
HM-321-I-Y-A	1064	5	8.73	15x15	直线
RD-253-I-Y-A	1064	5.27	9.2	15	圆形
HH-215-I-Y-A	1064	5.78x1.44	10.10x2.51	15	长方形
HM-320-I-Y-A	1064	5.78x1.44	10.10x2.51	15	长方形
RD-251-I-Y-A	1064	6.87	12	15	圆形
HM-267-I-Y-A	1064	8	13.99	48	直线
HM-312-I-Y-A	1064	10	17.5	10x10	直线
HM-273-I-Y-A	1064	10.00x10.00	17.50x17.50	10x10	正方形
HM-325-I-Y-A	1064	10.10x10.10	17.67x17.67	10x10	正方形
RD-238-I-Y-A	1064	11.9	20.84	15x15	圆形
HM-309-I-Y-A	1064	13.48x13.48	23.64x23.64	10x10	正方形
RD-239-I-Y-A	1064	13.86	24.31	15x15	圆形
HM-313-I-Y-A	1064	15	26.33	10x10	直线
RD-208-I-Y-A	1064	16	28.11	11	圆形
RH-208-I-Y-A	1064	16	28.11	11	圆形
HM-274-I-Y-A	1064	20.00x20.00	35.27x35.27	10x10	正方形
HH-209-I-Y-A	1064	20.00x20.00	35.27x35.27	10x10	正方形
HM-314-I-Y-A	1064	20	35.27	10x10	直线
HM-286-I-Y-A	1064	22.9	40.51	7.25x7.25	直线
HM-315-I-Y-A	1064	25	44.34	10x10	直线
RH-221-I-Y-A	1064	27.4	48.75	15x15	圆形
RD-226-I-Y-A	1064	27.4	48.75	15x15	圆形
HM-310-I-Y-A	1064	29.98x29.98	53.55x53.55	10x10	正方形
HM-316-I-Y-A	1064	30	53.59	10x10	直线
HM-317-I-Y-A	1064	35	63.06	10x10	直线
HM-318-I-Y-A	1064	40	72.79	10x10	直线
HM-319-I-Y-A	1064	45	82.84	10x10	直线