美国Lambda Research Optics专注于生产真空紫外到远红外整个光学光谱的光学元件，有308/248/193nm反射镜，波片以及棱镜等，其波长范围覆盖紫外到红外。准分子激光反射镜 Lambda可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。这些193/248/308nm反射镜在正常入射时的非偏振反射率至少为97%，在45°入射时为96%，LAMBDA准分子反射镜中的部分反射镜的反射率可根据用户需求定制。值得关注的是，Lambda高质量准分子激光腔镀膜涂层是专为耐酸/氟而设计的。
所属品牌：
应用类型：
产品型号：XRM-1203M-193，XOC-3805M-*R-193，XPR-2506U-*R-193
负责人：韦工
联系电话：18927460030
电子邮箱：bqwei@welloptics.cn
ArF(193nm)，反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射镜
Lambda Research Optics由从事电子光学业务超过25年的专业人士创立，专注于生产用于从真空紫外到远红外整个光学光谱的光学元件。Lambda对光学、光学材料和光学镀膜具备一定的能力，可为客户提供研究、开发或产品制造所需的光学元件。
美国Lambda准分子反射镜分为腔内反射镜(XRM/XOC)和腔外反射镜(XHR/XPR)，ArF(193nm)、KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光反射镜可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。氟化氩准分子激光器可产生193nm的短波长输出，这对于追求更精细分辨率的微光刻领域非常重要，此波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基底作为腔内透射光学元件。后腔反射镜(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波长下的反射率至少为97%。另外，用户可指定输出耦合器的反射率。值得关注的是，Lambda高质量准分子激光腔镀膜涂层是专为耐酸/氟(Acid/Fluorine resistance)而设计的。
腔外反射镜(extra-cavity mirrors)用于氟化氩准分子激光器，它们使用紫外熔融石英衬底，输出波长为193nm。在短波长下工作时，高质量的涂层和极高的洁净度至关重要，这些反射镜在正常入射时的非偏振反射率至少为97%，在45°入射时为96%。部分反射率可由用户指定。
准分子激光反射镜 Lambda图示
准分子激光反射镜 Lambda的主要特点：
腔内反射镜和输出耦合镜(XRM/XOC)特征：
- 氟化氩准分子激光光学器件
- 氟化钙或氟化镁基底
- 反射率>97%
腔外反射镜和部分反射镜(XHR/XPR)特征：
- 腔外转向镜Extra-Cavity Turning Mirrors
- 正常或45°入射角
- 高反射率或部分反射率
308/248/193nm反射镜的规格：
|
规格 |
描述 |
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材质Material |
XRM/XOC：紫外MgF₂/紫外CaF₂ XHR/XPR：准分子级熔融石英 |
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表面质量 |
XRM/XOC：<20/10 XHR/XPR：<10/5 |
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曲率半径 |
∞ |
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表面平整度 |
< λ/10@633 nm |
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直径公差 |
< +0.00/– 0.20 mm |
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厚度公差 |
< ±0.25 mm |
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清晰光圈 |
≥ 85% of diameter |
|
损伤阈值 |
>1.2J/cm², 10 ns |
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耐用性 |
符合MIL-C-675标准的附着力和耐磨性要求 |
193nm准分子反射镜和输出耦合镜XRM/XOC型号参数：
|
MgF2 |
CaF2 |
直径 |
厚度 (mm) |
运行参数 |
|
腔内反射镜Rear Cavity Mirror |
||||
|
XRM-1203M-193 |
XRM-1203CU-193 |
0.50" |
3.0 |
≥97% |
|
XRM-2003M-193 |
XRM-2003CU-193 |
20mm |
3.6 |
≥97% |
|
XRM-2503M-193 |
XRM-2503CU-193 |
1.00" |
3.0 |
≥97% |
|
XRM-3605M-193 |
XRM-3605CU-193 |
36mm |
5.5 |
≥97% |
|
XRM-3805M-193 |
XRM-3805CU-193 |
1.50" |
5.5 |
≥97% |
|
XRM-5009M-193 |
XRM-5009CU-193 |
2.00" |
9.5 |
≥97% |
|
输出耦合反射镜Output Coupler |
||||
|
XOC-1203M-*R-193 |
XOC-1203CU-*R-193 |
0.50" |
3.0 |
* |
|
XOC-2003M-*R-193 |
XOC-2003CU-*R-193 |
20mm |
3.6 |
* |
|
XOC-2503M-*R-193 |
XOC-2503CU-*R-193 |
1.00" |
3.0 |
* |
|
XOC-3605M-*R-193 |
XOC-3605CU-*R-193 |
36mm |
5.5 |
* |
|
XOC-3805M-*R-193 |
XOC-3805CU-*R-193 |
1.50" |
5.5 |
* |
|
XOC-5009M-*R-193 |
XOC-5009CU-*R-193 |
2.00" |
9.5 |
* |
* 根据客户要求，可提供任何比例的反射。
命名规则举例Ordering Example：
193nm准分子反射镜XHR/XPR型号参数：
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MgF2 |
直径(英寸) |
厚度(英寸) |
运行参数 |
|
0°高反射镜 |
|||
|
XHR-1206U-193-0 |
0.50 |
0.250 |
≥97% |
|
XHR-1906U-193-0 |
0.75 |
0.250 |
≥97% |
|
XHR-2506U-193-0 |
1.00 |
0.250 |
≥97% |
|
XHR-3809U-193-0 |
1.50 |
0.375 |
≥97% |
|
XHR-5009U-193-0 |
2.00 |
0.375 |
≥97% |
|
45°高反射镜 |
|||
|
XHR-1206U-193-45 |
0.50 |
0.250 |
≥96% |
|
XHR-1906U-193-45 |
0.75 |
0.250 |
≥96% |
|
XHR-2506U-193-45 |
1.00 |
0.250 |
≥96% |
|
XHR-3809U-193-45 |
1.50 |
0.375 |
≥96% |
|
XHR-5009U-193-45 |
2.00 |
0.375 |
≥96% |
|
部分反射镜 |
|||
|
XPR-1206U-*R-193 |
0.50 |
0.250 |
* |
|
XPR-1906U-*R-193 |
0.75 |
0.250 |
* |
|
XPR-2506U-*R-193 |
1.00 |
0.250 |
* |
|
XPR-3809U-*R-193 |
1.50 |
0.375 |
* |
|
XPR-5009U-*R-193 |
2.00 |
0.375 |
* |
* 反射百分比和入射角可根据客户要求提供
命名规则举例Ordering Example：
