日本OXIDE Frequad-M57 型号 CW257.5nm激光器。其输出功率覆盖区间0.3w-1w,可适配多种激光能量需求。257nm连续激光器光束质量良好,光束质量因子 M²<1.3,能量高度汇聚,光斑均匀精准,可应用于精细加工、科学研究等。257 CW激光器线宽<0.005pm,消光比>100:1,激光偏振态为垂直偏振且线性,电耗<340W。在运行时,因为CW 257nm激光器优异的输出性能,需为其配置水冷装置保证运行稳定。
所属品牌: 日本 Oxide
应用类型:
产品型号:Frequad-M57
负责人:肖振宇
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高光束质量,低功耗,0.3-1w,Frequad-M57 CW257nm深紫外激光器
Frequad-M57 型号257nm连续激光器,传承日本OXIDE品牌深厚的技术底蕴与严格的制作工艺,能够保证产品的优异性能以及优秀品质。257.5nm连续激光器输出功率覆盖区间0.3w-1w,可适配多种激光能量需求。257.5nm连续激光器 光束质量良好,光束质量因子 M²<1.2,能量高度汇聚,光斑均匀精准,可应用于精细加工、科学研究等范畴。运行时,因为257连续激光器优异的性能,需要为257.5nm连续激光器配置水冷装置,确保设备在各种工作环境下仍可以保证稳定输出。
单频深紫外激光器Frequad-M57产品概述
257nm连续激光器(Frequad-M57)是连续波(CW)单频深紫外激光器,是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。由于257nm CW激光器波长与气体激光器氩离子激光器的二次谐波(SHG)相同,257nm CW激光器专为现有气体激光器用户或该波长的新用户设计,不易操作和维护。257连续激光器不仅稳定,而且高度可靠。因此,当CW257nm激光器应用于光刻设备、检测工具和现场流量计时,它可以做到降低维护频率和运行成本。Frequad系列单频深紫外激光器作为具有266nm深紫外(DUV)波长的连续波(CW)单频波长转换激光器已有20多年的历史,257nm连续激光器基于Frequad系列(Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C)成功的基础上,应用了OXIDE的全部核心技术。
Frequad-M57 257 CW激光器主要特点:
- CW 257nm激光器使用超高纯度BBO晶体
OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小,高光束质量保证了长时间的稳定运行。
- CW 257nm激光器应用精密的伺服锁定技术
独特的高速、高精度音圈电机(VCM)伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。
- 257 CW激光器功耗极低
高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。
257 CW激光器Frequad-M57主要应用:
-半导体检测和光刻设备
-拉曼光谱、光电子能谱
-光致发光
-磁盘主控
-光纤布拉格光栅制造
-生物技术
CW 257nm激光器技术参数表:
波长 |
257.5 nm |
输出功率 |
0.3 W, 0.5 W, 0.7 W, 1 W |
线宽 |
< 0.005 pm |
消光比 |
> 100 : 1 |
光束质量 |
TEM00, M2 < 1.3 |
偏振 |
垂直、线性 |
电源 |
AC 100-240 V, 50/60 Hz |
电耗 |
< 340 W |
冷却 |
水冷 |
尺寸 |
350 x 590 x 124 mm |