我司针对超大矢高微透镜阵列的高面型精度微透镜阵列推出了全新的型号MLA1微透镜阵列。该型号的大角度匀光微透镜阵列采用超精密切削加工，属于光学冷加工微透镜阵列和大数值孔径微透镜阵列。大角度匀光微透镜阵列的矢高从250nm-4mm，发散角从0.20°-11.21°，可在最大尺寸为300mm×300mm的晶圆上超精密切削加工，具有极高的均匀性。
所属品牌： 海纳光学 Highlightoptics
应用类型：
产品型号：MLA1-X（子单元排列）X（子单元形状）**（子单元尺寸）-F**（焦距）
负责人：李工
联系电话：18926463275
电子邮箱：zxli@welloptics.cn
负责人：包程鑫
联系电话：13417596712
电子邮箱：cxbao@welloptics.cn
MLA1微透镜阵列，250nm-4mm超大矢高，高面型精度
超大矢高的优势在于能大大提高微透镜阵列的数值孔径，使得之前难以实现的大NA微透镜阵列能够制造，从而使大角度匀光微透镜阵列得以实现，令微透镜阵列在多个领域得到广泛的应用。
我司大角度匀光微透镜阵列标准品含有各种整形光斑形状，发散角范围为0.20°-11.21°，矢高范围为250nm-4mm，可在最大尺寸为300mm×300mm的晶圆上超精密切削加工，具有极高的均匀性，是高面型精度微透镜阵列，超大矢高微透镜阵列。目前，该MLA1微透镜阵列除了标准品以外，我们主要方向是光学冷加工微透镜阵列，大数值孔径微透镜暨大矢高微透镜阵列定制服务。得益于超精密切削加工的生产技术，使得以往较难满足定制微透镜阵列参数要求的大矢高微透镜阵列和高面型精度微透镜阵列得以进行定制生产。
MLA1微透镜阵列可分为两种，一类是diffuser凹凸镜，光束在扩散后进行匀化，光束的扩散角大于10°，一类是homo平凸匀化镜，需要配合聚焦镜使用，光束的扩散角小于10°。在进行大NA微透镜选型的时候，入射光直径要大于5倍的所选型号的子单元间距pitch。在微透镜光斑模拟中，由于考虑了波动光学，MLA1微透镜阵列的模拟效果的一致性很高，可以为您选型模拟提供帮助。为了使客户了解超大矢高微透镜阵列MLA1的特点和定制能力，我们将大数值孔径微透镜阵列的定制参数范围和定制能力罗列出来，以供客户于定制大矢高微透镜阵列时作参考。
大NA微透镜阵列技术指标：
-材料：石英玻璃，氟化钙，氟化镁，硅，锗，高折射率玻璃，非毒性玻璃
-矢高：250nm-4mm
-子单元口径：80μm-30mm
-表面粗糙度：局部可达2-5nm，整体可达30-200nm
-镜片厚度：0.25-12mm
-间距：10μm（可定制）
-子单元形状：方形、柱面、自定义
-排列：线性、方形、平行、自定义
-增透膜（AR）:UV、XIS、NIR—正面、背面
-最大镜片尺寸：300×300mm
-最小镜片尺寸：50×50mm
-均匀性：>90%（入射光准直）
-加工工艺：超精密切削加工，刀具法，光学冷加工
-切割工艺：>1mm使用刀具切割，<1mm使用激光切割
超大矢高微透镜阵列MLA1误差指标：
-面型误差：±0.5%
-曲率半径误差：±0.5%
-镜片尺寸误差：±0.1mm
以下是我司型号MLA1微透镜阵列的标准品列表。
型号规格的含义：
-常规微透镜阵列：MLA1-X（子单元排列）X（子单元形状）**（子单元尺寸）-F**（焦距）
-柱面微透镜阵列：CLA1-***（子单元尺寸）-F**（焦距）
-排列形状/子单元形状：S正方形，H六边形，C圆形，R矩形
-子单元尺寸单位：μm
-焦距F单位：mm
-双面大NA微透镜阵列：在子单元排列或子单元尺寸前加-2S-
双面柱面正交匀光微透镜阵列产品表：
|
型号 |
Pitch(μm) |
子单元形状 |
子单元排列 |
发散角(°) |
焦距(mm) |
曲率半径(mm) |
镜片尺寸(mm) |
|
CLA1-2S-500-F69.56 |
500 |
柱面 |
双面正交 |
0.41 |
69.56 |
31.3 |
12×12×2 |
|
CLA1-2S-500-F4.78 |
500 |
柱面 |
双面正交 |
6 |
4.78 |
2.15 |
12×12×2 |
|
CLA1-2S-500-F12.22 |
500 |
柱面 |
双面正交 |
2.34 |
12.22 |
5.5 |
12×12×2 |
|
CLA1-2S-500-F7.78 |
500 |
柱面 |
双面正交 |
3.68 |
7.78 |
3.5 |
12×12×2 |
|
CLA1-2S-500-F31.11 |
500 |
柱面 |
双面正交 |
0.92 |
31.11 |
14 |
12×12×2 |
|
CLA1-2S-500-F46.67 |
500 |
柱面 |
双面正交 |
0.61 |
46.67 |
21 |
12×12×2 |
|
CLA1-2S-800-F173.33 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
0.26 |
173.33 |
78 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F106.67 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
0.43 |
106.67 |
48 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F233.33 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
0.2 |
233.33 |
105 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F9.67 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
4.74 |
9.67 |
4.35 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F19.33 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
2.37 |
19.33 |
8.7 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F24.67 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
1.86 |
24.67 |
11.1 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F54.22 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
0.85 |
54.22 |
24.4 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-800-F37.11 |
800 |
柱面 |
双面正交 |
1.24 |
37.11 |
16.7 |
20×20×2 |
|
CLA1-2S-1300-F6.64 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
11.21 |
6.64 |
2.99 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F9.78 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
7.62 |
9.78 |
4.4 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F18.67 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
3.99 |
18.67 |
8.4 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F-111.11 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
0.67 |
-111.11 |
-50 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F37.78 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
1.97 |
37.78 |
17 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F14.44 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
5.16 |
14.44 |
6.5 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F27.78 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
2.68 |
27.78 |
12.5 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F55.56 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
1.34 |
55.56 |
25 |
35×35×2 |
|
CLA1-2S-1300-F111.11 |
1300 |
柱面 |
双面正交 |
0.67 |
111.11 |
50 |
35×35×2 |
单面柱面匀光微透镜阵列产品表：
|
型号 |
Pitch(μm) |
子单元形状 |
子单元排列 |
发散角(°) |
焦距(mm) |
曲率半径(mm) |
镜片尺寸(mm) |
|
CLA1-500-F69.56 |
500 |
柱面 |
平行 |
0.41 |
69.56 |
31.3 |
12×12×2 |
|
CLA1-500-F4.78 |
500 |
柱面 |
平行 |
6 |
4.78 |
2.15 |
12×12×2 |
|
CLA1-500-F12.22 |
500 |
柱面 |
平行 |
2.34 |
12.22 |
5.5 |
12×12×2 |
|
CLA1-500-F7.78 |
500 |
柱面 |
平行 |
3.68 |
7.78 |
3.5 |
12×12×2 |
|
CLA1-500-F31.11 |
500 |
柱面 |
平行 |
0.92 |
31.11 |
14 |
12×12×2 |
|
CLA1-500-F46.67 |
500 |
柱面 |
平行 |
0.61 |
46.67 |
21 |
12×12×2 |
|
CLA1-800-F173.33 |
800 |
柱面 |
平行 |
0.26 |
173.33 |
78 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F106.67 |
800 |
柱面 |
平行 |
0.43 |
106.67 |
48 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F233.33 |
800 |
柱面 |
平行 |
0.2 |
233.33 |
105 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F9.67 |
800 |
柱面 |
平行 |
4.74 |
9.67 |
4.35 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F19.33 |
800 |
柱面 |
平行 |
2.37 |
19.33 |
8.7 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F24.67 |
800 |
柱面 |
平行 |
1.86 |
24.67 |
11.1 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F54.22 |
800 |
柱面 |
平行 |
0.85 |
54.22 |
24.4 |
20×20×2 |
|
CLA1-800-F37.11 |
800 |
柱面 |
平行 |
1.24 |
37.11 |
16.7 |
20×20×2 |
|
CLA1-1300-F6.64 |
1300 |
柱面 |
平行 |
11.21 |
6.64 |
2.99 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F9.78 |
1300 |
柱面 |
平行 |
7.62 |
9.78 |
4.4 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F18.67 |
1300 |
柱面 |
平行 |
3.99 |
18.67 |
8.4 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F-111.11 |
1300 |
柱面 |
平行 |
0.67 |
-111.11 |
-50 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F37.78 |
1300 |
柱面 |
平行 |
1.97 |
37.78 |
17 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F14.44 |
1300 |
柱面 |
平行 |
5.16 |
14.44 |
6.5 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F27.78 |
1300 |
柱面 |
平行 |
2.68 |
27.78 |
12.5 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F55.56 |
1300 |
柱面 |
平行 |
1.34 |
55.56 |
25 |
35×35×2 |
|
CLA1-1300-F111.11 |
1300 |
柱面 |
平行 |
0.67 |
111.11 |
50 |
35×35×2 |
如果以上超大矢高微透镜阵列MLA1，大矢高微透镜阵列，大角度匀光微透镜阵列，大数值孔径微透镜阵列，高面型精度微透镜阵列，没有符合您的需求的标准品的话，欢迎致电咨询我司进行定制，也欢迎询价了解。
