关于加拿大Zaber的产品资讯,厂家推出了X-LDM-AE系列1μm精度电控平移台,适用于要求出色精度的应用。X-LDM-AE高精度平移台采用线性编码器,搭配非接触式无铁芯直线电机,能够实现1μm的位置精度,80nm的高重复精度和低至25nm的移动步长。这款高精度线性平移台具有60mm,110mm,210 mm三种行程选择。
所属品牌: 加拿大Zaber
应用类型:
产品型号:X-LDM-AE
负责人:陈工 平移台及显微镜载物台
联系电话:13418906712
电子邮箱:chenpeng@welloptics.cn
重复性80nm,精度1μm,步进25 nm高精度电控平移台
X-LDM-AE系列为移动磁道电动线性平移台,也被称为1μm精度电控平移台或高精度线性平移台,英文名Linear Motor Stage。这款高精度电控平移台适用于要求出色的精度,和可靠性的应用。中央安装的线性编码器可实现1μm的位置精度和一致的移动步长,步长低至25 nm。
X-LDM-AE采用高效无铁芯马达,提供高速和加速同时最大限度地减少热量产生,从而提高可重复性。驱动器和编码器都是非接触式的,没有移动电缆,因此系统寿命很长。
有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供更高的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有更好的热稳定性及更低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有更好的热稳定性。
X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PL和EL实验还有自动化设备等应用上。
X-LDM-AE高精度电控平移台特点
- 高重复性80nm和精度1μm,Min增量移动25 nm
- 1 nm分辨率并有线性编码器
- 速度最快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g
- 60,110,210 mm三种行程选择
- 内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接
- 非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙
- 一个数字输入和两个数字输出
- 可组合成双轴XY
重复性Repeatability:
在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。
精度(单向)Accuracy (unidirectional):
当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。
增量移动Minimum Incremental Move:
定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。
X-LDM-AE高精度电控平移台规格参数:
X-LDM-AE规格 |
参数 |
Built-in Controller |
Yes |
精度(单向) |
1 µm |
重复性 |
< 0.08 µm |
Min增量移动 |
25 nm |
Max速度 |
1200 mm/s |
Min速度 |
0.000001 mm/s |
Speed Resolution |
0.000001 mm/s |
Encoder Count Size |
1 nm |
编码器类型 |
Linear analog encoder |
峰值推力 |
60 N |
峰值连续推力 |
35 N |
通讯接口类型 |
RS-232 |
通讯协议 |
Zaber ASCII (Default) |
Maximum Centered Load |
120 N |
Maximum Cantilever Load |
1200 N⋅cm |
Guide Type |
Crossed-Roller Bearing |
Maximum Current Draw |
3000 mA |
电源大小 |
48 VDC |
电源插头 |
2-pin screw terminal |
马达电机类型 |
Moving Magnet Track Linear Motor |
马达电机额定电流 |
2400 mA/phase |
电感 |
1.24 mH/phase |
数据线 |
Locking 4-pin M8 |
Limit or Home Sensing |
Optical Index Mark |
手动控制 |
带按钮的分度旋钮 |
Axes of Motion |
1 |
LED指示灯 |
Yes |
安装接口 |
M6 threaded holes |
工作温度范围 |
10 to 40 °C |
真空兼容 |
No |
RoHS Compliant |
Yes |
CE Compliant |
Yes |
Digital Input |
1 |
Digital Output |
2 |
X-LDM-AE高精度线性平移台参数对比:
型号 |
行程 |
Max加速度 |
垂直抖动偏差 |
水平抖动偏差 |
X-LDM060C-AE54 |
60 mm (2.362 ") |
34.3 m/s2 (3.50 g) |
< 4 µm (< 0.000157 ") |
< 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM110C-AE54 |
110 mm (4.331 ") |
24.5 m/s2 (2.50 g) |
< 4 µm (< 0.000157 ") |
< 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM210C-AE54 |
210 mm (8.268 ") |
14.7 m/s2 (1.50 g) |
< 8 µm (< 0.000315 ") |
< 5 µm (< 0.000197 ") |
X-LDM060C-AE54D12 |
60 mm (2.362 ") |
34.3 m/s2 (3.50 g) |
< 4 µm (< 0.000157 ") |
< 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM110C-AE54D12 |
110 mm (4.331 ") |
24.5 m/s2 (2.50 g) |
< 4 µm (< 0.000157 ") |
< 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM210C-AE54D12 |
210 mm (8.268 ") |
14.7 m/s2 (1.50 g) |
< 8 µm (< 0.000315 ") |
< 5 µm (< 0.000197 ") |
型号 |
Pitch |
Roll |
Yaw |
Moving Mass |
X-LDM060C-AE54 |
0.003 ° (0.052 mrad) |
0.002 ° (0.035 mrad) |
0.002 ° (0.035 mrad) |
1.74 kg (3.828 lbs) |
X-LDM110C-AE54 |
0.005 ° (0.087 mrad) |
0.005 ° (0.087 mrad) |
0.002 ° (0.035 mrad) |
2.29 kg (5.038 lbs) |
X-LDM210C-AE54 |
0.01 ° (0.174 mrad) |
0.005 ° (0.087 mrad) |
0.005 ° (0.087 mrad) |
3.17 kg (6.974 lbs) |
X-LDM060C-AE54D12 |
0.003 ° (0.052 mrad) |
0.002 ° (0.035 mrad) |
0.002 ° (0.035 mrad) |
1.74 kg (3.828 lbs) |
X-LDM110C-AE54D12 |
0.005 ° (0.087 mrad) |
0.005 ° (0.087 mrad) |
0.002 ° (0.035 mrad) |
2.29 kg (5.038 lbs) |
X-LDM210C-AE54D12 |
0.01 ° (0.174 mrad) |
0.005 ° (0.087 mrad) |
0.005 ° (0.087 mrad) |
3.17 kg (6.974 lbs) |