美国Micromanipulator自主研发的4060手动显微镜探针平台是一种高性能，能够测量6 – 8英寸(150 – 200 mm)的手动探针台。手动探针平台4060的设计是为了适用于要求较高的场合，如极低电流电压探测，高温探测，低温探测以及探测可见光极限的亚微米目标。4060手动探针平台系统结合了晶圆高效探测，准确的光学系统和机械性能于一身，是世界各地都广泛应用的专业设备。
所属品牌： 美国Micromanipulator
应用类型：
产品型号：4060
负责人：孙工 平移台及显微镜载物台
联系电话：13691896712
电子邮箱：sxdai@welloptics.cn
150/200mm晶圆测量，高性能4060手动探针平台系统
美国Micromanipulator设计的4060手动探针平台是一种高效的，能够测量6 - 8英寸（150 - 200mm）的手动分析探针站。4060手动探针平台可以应用于日常故障分析，设备表征和可靠性测试应用。4060手动探针平台具有高效的、准确的电气和机械性能的特点，是工业领域上高效、稳定和可靠的150/200mm手动探针系统。
4060手动显微镜探针平台可以根据您的特点需求进行配置，可选配置包括：探针卡座、热压板、操纵器、独特的探针支架、隔震台、光密封外壳(LTEs)和相机系统等附件。标准的手动探针平台系统配置选项包括独立的显微镜升降锁定杆组件、平台升降和可调显微镜升降延迟以及支持低温探测的黑暗干燥一体化的环境。
4060型号手动探针台的高效特效和坚固可靠性结合其性价比的优势，使其成为一种真正具有成本效益的通用分析探针系统的理想选择。
4060手动探针平台系统的特点：
- 手动螺杆控制平台，精确的控制平衡了晶圆的快速转换和高分辨率定位的关系
- 螺杆控制压板，用于探针夹持器定位
- 丝杆驱动高分辨率手动夹持器θ控制
- 高稳定性的显微镜支撑架支持高分辨率复合显微镜
- 人体工学、直观、紧凑的设计提高了使用便利性，同时增加了稳定性
- 紧凑的占地面积，能够有效利用实验室空间
- 大型铝压板允许操作员选择合适的位置放置操纵器
- 6英寸(150 mm)或8英寸(200 mm)的夹具，具有全晶圆覆盖级的行程移动
- 可选配热或热/冷夹具，包括内部电缆/软管处理组件，方便在探测站的后部和集成的黑暗/干燥环境进行操作
手动探针平台4060的规格参数：
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型号 |
4060手动显微镜探针平台系统 |
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手动探针平台4060的整体尺寸 |
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设备占地面积（宽度 x 深度） |
22.75 x 23.35英寸（57.7 x 59.3 cm） |
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探针台（宽度 x 深度 x 高度） |
28.5 x 26.75 x 21.5英寸（72.3 x 67.9 x 54.6 cm） 重量：191 lb（86.6 kg） |
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XY平台移动 |
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行程 |
6 x 6英寸（150 x 150 mm）或8 x 8英寸（200 x 200 mm），手动控制 |
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分辨率 |
1.0 um per degree |
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显微镜 线形 |
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行程（XYZ） |
4 x 4 x 2英寸（100 x 100 x 50 mm） |
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分辨率 |
3.5 um |
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大面积铝压板 |
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Z轴行程 |
1英寸（25.4 mm） |
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分辨率 |
0.1 um / 度 |
