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SID4紫外高分辨率波前分析仪

基于Phasics独特的SID4四波横向剪切干涉技术所开发的专利技术，紫外高分辨率波前分析仪设备可覆盖190-400 nm紫外检测波段，在紫外线光谱中提供了无与伦比的高分辨率（355x280测量点）和非常高的灵敏度（1 nm RMS）。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前探测、分析提供了全新方案。

所属品牌： 法国Phasics

应用类型： 激光测量

产品型号：SID4-UV，SID4-UV-HR

负责人：孙工光学仪器
联系电话：13691896712 电子邮箱：sxdai@welloptics.cn

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190-400 nm紫外相应高灵敏度的紫外高分辨率波前分析仪

基于独特的专利技术，法国Phasics公司的波前传感器具备高灵敏度及高相位分辨率的特点，即插即用的适用类型适用于大多数用户的应用环境。法国Phasics公司为用户提供两款紫外检测波前分析仪，SID4-UV和SID4-UV-HR。

其中SID4-UV-HR作为SID4-UV的增强款，该设备在190-400 nm的紫外波段有着极高的相位分辨率（355×280取样分辨率）、极高的相位灵敏度（优于1 nm RMS）以及更大的靶面面积（13.8 x 10.88 mm²）。这使得SID4-UV-HR适用于光刻、半导体等领域，尤其适用于透镜或晶圆等的光学组件表征以及波前像差，波前曲线的波前探测需求。

相比之下，SID4-UV适用于250-400 nm波段的紫外光谱，250 × 250的取样分辨率、2 nm RMS的相位灵敏度以及7.4 × 7.4 mm²的靶面面积足以满足大部分用户需求，相比于SID4-UV-HR更具备成本效益，在满足用户使用需求的前提下有效的节约用户成本。

紫外波前分析仪应用领域：

-工业激光

-光学元件及组装

-增强现实-虚拟现实

-天文观测

-航空航天工业

-半导体加工

SID4-UV紫外波前分析仪产品规格：

型号	SID4-UV
波长范围	250 - 400 nm
靶面尺寸	7.4 x 7.4 mm²
空间分辨率	29.6 µm
取样分辨率	250 x 250
相位分辨率	2 nm RMS
绝对精度	10 nm RMS
取样速度	30 fps
实时处理速度*	> 2 fps (全分辨率下)*
接口种类	以太网口
尺寸（宽x高x长）	78 x 88.1 x 71.1 mm³
重量	约575g

*使用官方电脑搭载SID4软件环境下

紫外波前分析仪主要特点：

-250 - 400 nm紫外波段响应

-2 nm RMS高相位灵敏度

-250 × 250超高相位取样分辨率

紫外高分辨率波前分析仪产品应用：

-激光检测

-自适应光学检测

-等离子体检测

-光学元件及光学系统计量

SID4-UV-HR紫外高分辨率波前分析仪产品规格：

型号	SID4-UV-HR
波长范围	190 - 400 nm
靶面尺寸	13.8 x 10.88 mm²
空间分辨率	38.88 µm
取样分辨率	355 x 280
相位分辨率	1 nm RMS
绝对精度	10 nm RMS
取样速度	30 fps
实时处理速度*	> 3 fps (全分辨率下)*
接口种类	CameraLink
尺寸（宽x高x长）	51 x 51.1 x 76 mm³
重量	约300g