LASEROPTIK专注于开发和制造VUV到IR光学元件四十年，生产超过350万件用于各个领域的激光反射镜，其中就包含有Laseroptik准分子反射镜。Laseroptik反射镜具有高损伤阈值和高反射率等特点，其中的准分子激光反射镜_Laseroptik (Excimer Mirror)波长范围180-379nm，常用紫外反射镜标准品有193nm反射镜，248nm反射镜和355nm反射镜。Laseroptik准分子激光反射镜主要材质是熔融石英或CaF2，这些193,248nm反射镜采用EBE涂层技术，具有良好的性价比。
所属品牌： 德国LASEROPTIK
应用类型：
产品型号：B-00790，B-07573，B-11227
负责人：韦工
联系电话：18927460030
电子邮箱：bqwei@welloptics.cn
UV/Excimer 180-379nm，高损伤阈值，Laseroptik准分子激光反射镜
德国Laseroptik成立40年以来，生产了约350万片激光反射镜，Laseroptik反射镜可应用于各个领域。在LASEROPTIK，技术与热情并存，开拓精神与传统并重，使得其薄膜技术大放异彩，专门定制生产VUV到IR的高损伤阈值激光光学元件，还可根据客户需求提供各种镀膜定制。其中包含Laseroptik准分子反射镜(Excimer Mirror)，红外反射镜和衰减器等。
LASEROPTIK在紫外（UV 180-379nm）范围内的镀膜涂层方面拥有长期丰富的经验，其准分子激光反射镜_Laseroptik具有高损伤阈值和高反射率等特点，如：HR 157nm / 0°时，15ns脉冲的LIDT>400 mJ/cm2。常用紫外反射镜标准品有193nm反射镜，248nm反射镜和355nm反射镜，除了标准品可选，还能够提供定制的193,248nm反射镜。
镀膜涂层的特征：
- 最常见激光类型的标准镀膜涂层，按波长区域分类
- 偏振片、变量、金属和OPO镀膜涂层
- 分散涂层Dispersive coatings
- 特殊基底上的镀膜
- 用于特殊应用或环境条件的镀膜
每种涂层类型都可以针对每种基材进行优化：
- 基底材料
- 波长
- 反射/透射值
- 入射角
- 偏振GDD值
另外，还可根据用户的需求提供全新的设计。
如果没有特别说明，所有数值和图表都是针对所述波长范围内使用的标准基底材料（主要是熔融石英或CaF2）。
Laseroptik准分子激光反射镜的规格参数表：
|
λ(nm) |
AR(0°); R< |
method |
AR(45°); R< |
method |
|
193 |
0.5% |
EBE |
0.75% |
EBE |
|
248 |
0.25% |
EBE |
0.75% |
EBE |
|
266 |
0.25% |
EBE |
0.6% |
EBE |
|
355 |
0.2% |
EBE |
0.6% |
EBE |
|
0.05-0.1% low loss |
IBS |
0.05-0.1% low loss |
IBS |
|
*取决于价格、基板尺寸和激光功率
|
λ(nm) |
ＨR(0°); R＞ |
method |
ＨR(45°); R＞ |
method |
|
193 |
96% |
EBE |
92% (goal 96%) |
EBE |
|
|
96% (goal 96%) on Fluoride |
EBE |
95% on Fluoride |
EBE |
|
213 |
98% |
EBE |
97% |
EBE |
|
248 |
99.5% |
EBE |
99% |
EBE |
|
266 |
99.5% |
EBE |
99.5% standard |
EBE |
|
|
99.5% |
IBS |
99.5% high power |
MS |
|
308 |
99.5% |
EBE |
99.2% |
EBE |
|
|
99.7% |
IBS |
99.7% |
IBS |
|
343 |
99.5% |
EBE |
99.2% |
EBE |
|
351 |
99.5% |
EBE |
99.2% |
EBE |
|
355 |
99.5% high power |
MS |
99.5% standard |
EBE |
|
|
99.9% low loss |
IBS |
99.9% low loss |
IBS |
|
|
99.5% high power |
MS |
||
|
λ(nm) |
AOI |
method |
|
193 TP>80%, Ts<10% |
73° |
EBE |
|
248 TP>80%, Ts<2% |
Brewster |
EBE |
|
266 TP>90%, Ts<2% |
Brewster |
EBE |
|
355 TP>94%, Ts<2% |
Brewster |
EBE |
|
TP>96%, Ts<0.2% |
Brewster |
IBS |
|
λ(nm) |
0°→45°; T= |
method |
|
193 |
80%→10% |
EBE |
|
248 |
90%→2% standard |
EBE |
|
|
95%→1% high power |
MS |
|
266 |
92%→1% standard |
EBE |
|
355 |
92%→1% standard |
EBE |
|
|
92%→1% non-shifting |
IAD |
参数数值均为标准涂层的数值，镀膜涂层类型均可提供定制涂层。可提供涂层镀膜方法如下图：
193nm,248nm,355nm反射镜的曲线图示例：
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虚线表示放大后的曲线，并标明放大倍数
193,248nm反射镜曲线图
308nm和355nm反射镜曲线图
248nm和250-350nm反射镜曲线图
如无特殊说明，所有数值和图表均为：
- 适用于所述波长范围内使用的标准基底材料（主要是熔融石英或 CaF2）。
- 不考虑后表面。
- 采用EBE涂层技术，具有良好的性价比。
- 所有类型均可提供定制涂层。
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