作者： 时间：2023-10-27
激光振镜其实是用在激光行业的一种扫描振镜，其专业名词叫做高速扫描振镜Galvo scanning system，又能够称之为电流表计。扫描振镜典型的操控体系选用了一对折返镜，其中的伺服电机用于驱动这套镜片，在这操控体系中，方位传感器的运用和负反馈回路的规划思路更进一步的确保了体系的精度，使得全部体系的扫描速度和重复定位精度到达一个新的水平。
国产扫描振镜ODVS0510/ ODVS0512是一款速度快、抗干扰能力强，重复精度高(<1µrad)的振镜，主要参数精度，打标速度以及跟踪误差等和SCANcube IV 10/ SCANcube IV 14非常接近，因此，能够作为SCANcube IV 10/14对应的国产型号。
左图：SCANcube IV振镜 右图：海纳高精度数字扫描振镜ODVS0510/12
国产高精度数字振镜与SCANLAB振镜对比如下：
由以下的对比表中可以看到Scanlab替代型号ODVS0510/12与SCANcube IV 10/14的入口光斑在10mm的情况下，跟踪误差分别是0.115ms和0.12ms，定位速度分别是25m/s和20.8m/s，都是默认XY2-100行业标准接口通讯协议，由此可看出两者的差别并不大，可成为Scanlab国产替代。
海纳高精度数字振镜ODVS0510/12作为替代SCANcube IV 10/14的一款振镜，其中，ODVS0510/12精度<1µrad，SCANcube IV 10/14的精度< 2µrad。海纳高精度振镜使用的驱动方式和定位方式分别是数字与光栅，数字振镜使用的是数字信号进行运算并控制电机，这样的方式使得工作环境在被干扰的情况下，也可以正常使用。因此国产ODVS0510/12振镜的特点是可同时兼顾速度、精度、稳定性，并且响应速度快、抗干扰能力强，重复精度高(<1µrad)，非常适合用于微加工，编码，打标以及一些高精尖领域等应用，还具备较高的性价比，作为对标SCANLAB振镜，ODVS0510和ODVS0512是一个不错的选择。
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规格参数 |
ODVS0510 |
SCANcube IV 10 |
ODVS0512 |
SCANcube IV 14 |
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入口光斑(mm) |
10mm |
10mm |
12mm |
14mm |
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光柱位移(mm) |
6.67mm |
12.54mm |
6.67 mm |
16.42mm |
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跟随误差(ms) |
0.115ms |
0.12ms |
0.138 ms |
0.15ms |
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重复精度(µrad) |
<1µrad |
< 2µrad |
<1µrad |
< 2µrad |
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零位漂移(µrad/K) |
＜15µrad/K |
< 20µrad/K |
＜15µrad/K |
< 20µrad/K |
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增益漂移(ppm/K) |
＜8ppm/K |
< 20ppm/K |
＜8ppm/K |
< 20ppm/K |
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8小时以上漂移(mrad) |
<0.1mrad |
< 50µrad |
<0.1mrad |
<50µrad |
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1%全行程(ms) |
0.26ms |
0.3ms |
0.28ms |
0.35ms |
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10%全行程(ms) |
1.128ms |
0.80ms |
0.81ms |
1.20ms |
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定位速度(m/s) |
25m/s |
20.8m/s |
20m/s |
14.4m/s |
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扫描角度(°) |
±12° |
±0.35rad (opt.) |
±12° |
±0.35rad (opt.) |
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打标速度(m/s) |
<7000m/s（正常） |
3.0m/s（高精度） |
<6000 m/s（正常） |
2.5m/s（高精度） |
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零位误差(mrad) |
<5 mrad |
<5mrad |
<5mrad |
<5mrad |
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非线性度(%) |
<0.1 |
< 0.7 mrad / 44° |
<0.1 |
< 0.7 mrad / 44° |
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电源要求 |
±15VDC, ≥3A |
30VDC，最大3A |
±15VDC, ≥3A |
30VDC，最大3A |
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数字接口 |
XY2-100/SH2(20bit) |
SL2-100、XY2-100标准 |
XY2-100/SH2(20bit) |
SL2-100、XY2-100标准 |
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工作温度(℃) |
25±10°C |
25±10°C |
25±10°C |
25±10°C |
总结：
海纳光学的国产高精度数字振镜交货期短，性价比高，稳定性好、抗干扰能力强、定位精度高、响应速度快、可应用于高精尖领域和复杂电磁环境，主要的参数与德国SCANLAB振镜很接近，可作为SCANcube IV 10/14对应的国产型号，具有一定的竞争优势，是一个理想的选择。
