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Hybrid Hexapod,MINI和Angulares TM Hybrid Hexapod高精度六足位移台介绍

作者: 时间:2024-09-23

ALIO Industries公司是为各行各业的关键任务应用提供创新型专利定位设备的领先供应商。其新一代高精度六轴位移台系统Hybrid Hexapod系列性能卓越,且价格极具竞争力。凭借其精度、路径性能、速度、刚度、更大的工作包络面以及几乎无限的 XY 行程,Hybrid Hexapod系列在六自由度定位领域掀起了一场革命。除此之外,ALIO公司的Hybrid Hexapod高精度六足位移台系列还提供完全可编程的工具中心点位置,是要求高精度和高准确度应用的理想之选。

ALIO公司的六轴位移台严格执行美国的最终用户申明制度,国内很多单位都不能通过EUS审核,但纯商业和民用用途还是可以采购。

 

标准Hybrid Hexapod


Hybrid Hexapod

X Ymm

100~300+

行程

Zmm

6~206

ABdegrees

±3~±18

Gdegrees

360

角分辨率

< 0.04 arc-sec

线性分辨率

5 nm

双向重复定位精度

<±80 nm

位移精度

1μm

有效载荷(kg

2.0~20.0

设备质量(kg

15~122

与传统的六轴位移台相比,Hybrid Hexapod具有独特的刚度,相比于传统使用螺杆驱动的 Stewart 平台,Hybrid Hexapod高精度六足位移台能够避免许多传统六轴位移台存在的常见问题,如pitch 误差、反向间隙和摩擦。

使用Hybrid Hexapod高精度六轴位移台,客户只需使用其中一个轴就可以在 X Y 轴上移动,只需使用三脚架的三个支腿就可以进行倾斜或俯仰,还可以通过在三脚架中间添加一个360度旋转平台来围绕 Z 轴旋转。这些功能以及许多其他具体细节,使Hybrid Hexapod成为任何需要纳米/弧秒级增量运动和可重复性六自由度定位应用的理想解决方案。

MINI Hybrid Hexapod


MINI Hybrid Hexapod

X Ymm

60~200

行程

Zmm

15

ABdegrees

±10

Gdegrees

360

角分辨率

< 0.04 arc-sec

线性分辨率

5 nm

双向重复定位精度

<±80 nm

位移精度

1μm

有效载荷(kg

5

设备质量(kg

6~16.5

为了满足部分客户对六轴位移台更加小巧紧凑的需求,ALIO Industries推出了更加小巧的MINI Hybrid Hexapod®六足位移台。尽管 MINI Hybrid Hexapod® 体积很小,但却能提供 54,000 平方毫米的工作容积(60x60x15 毫米)。不仅如此,客户通过制动器、齿轮减速、滚珠丝杠驱动和线性电机驱动等选择,可以根据客户自身所需的工作容积进行调整。其灵活性使得其成为自动镜头对准或粘接工艺、相机阵列模块、平移 OIS、伸缩式集成镜头以及手机摄像头和无人机等微型相机产品的理想解决方案。


Angulares TM Hybrid Hexapod超大尖端/倾角范围六脚架


ALIO Industries 的 Angulares TM Hybrid Hexapod高精度六足位移台具有市场上所有六自由度定位器中最宽的角行程范围,顶端/倾斜行程可达60°。这种新型高精度六轴位移台具有精密交叉滚柱轴承导轨、所有轴上的增量式或绝对式光栅反馈、直线电机和/或伺服滚珠丝杠驱动、无限制的可编程刀具中心点位置以及所有轴上的零反向间隙。

AngularesTM Hybrid Hexapod

X Ymm

60~300+

行程

Zmm

15

ABdegrees

±30

Gdegrees

360

角分辨率

< 0.04 arc-sec

线性分辨率

5 nm

双向重复定位精度

<±80 nm

位移精度

1μm

有效载荷(kg

5~10

设备质量(kg

15~30

Angulares TM Hybrid Hexapod非常适合各种应用,如非球面和自由曲面光学计量、硅光子学封装和探测、激光微加工、相机模块对准和装配以及光学元件和光纤对准。

除了Hybrid HexapodMINIAngulares TMHybrid Hexapod三类Hybrid Hexapods系列产品,ALIO公司的模块化和多功能Hybrid Hexapod概念还允许客户进行各种定制和调整,以满足客户的特殊应用场景要求,从几十公斤载荷和高力要求的应用,到大孔径的全新设计,客户可以通过更加详细的要求来对Hybrid Hexapod高精度六足位移台进行定制和调整。




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