针对电动平移台隔振的K&S前馈控制系统，KNS-systems主动隔振台

对于大多数的OEM客户而言，他们的产品当中需要一些轨道的运动控制，这些电动平移台隔振往往采用主动隔震台。K&S主动隔振台都是放置在设备的下方，主要是为了隔离来自于地面的振动。如果主动隔震台上面的机台是一个非常快速的运动系统，那么本身运动来讲，隔震台上面的机台是会产生非常大的振动。减震台其实是没有办法去抑制这个机台上面的振动，为此，KNS OEM隔振系统应运而生。

前馈控制系统OEM中的前馈电机主要是控制运动，对于很多测试应用需求，像一些半导体厂或者光刻，尤其是晶圆测试时，有一块运动的要求，比如需要在100毫秒内运用到某个点。通常机台上面的一个柜罩轨道运动过来的时候，会对整个系统产生一个非常大的震动。如果去看它的波形，会有一个非常缓慢的稳定时间，一般来说是几百毫米。这种稳定时间对于测试需求来说其实是非常慢的，KNS前馈控制系统能够针对电动平移台隔振实现快速稳定，时间几十毫秒或者更低。当机台往右运动时，OEM隔振系统中的前馈电机会施加一个往左侧的方向力，这样就能帮助设备快速的稳定。

K&S 用于运动系统隔振的前馈控制解决方案

一般平台当中都会配置四个KNS主动隔振台，也就是4个角配置K&S ArisMD系列减震台，每个角都会根据需求配置不同的前馈电机，再根据客户的运动参数调整不同前馈电机的力的大小。下图展示了运动系统隔振在没有OEM隔振系统，也就是没有前馈电机的情况下与配置了K&S前馈控制系统的差别，加速度是3m/s²。当运动200mm距离停止之后，上面的平台会有一个非常大的晃动，加速曲线蓝色，有效负载的加速曲线是红色，然后看稳定时间。可以很明显的对比出，加了前馈控制系统OEM的稳定时间从几百毫米降低到了几十毫秒。由此可以得出结论，KNS前馈控制系统能有效提高生产效率。