衍射光学元件如衍射分束器、光束整形器在半导体行业中的应用

激光计量是半导体制造中的一项重要技术，它依靠精确的光学测量来确保产品质量和良率。激光计量是指利用激光测量零件或子零件（例如晶圆上的微结构）的物理尺寸的各种技术。衍射光学元件具有独特的特性，在提高激光计量系统的性能和效率方面具有显著优势。由于激光光学计量技术具有不可否认的优势，因此许多行业都使用激光光学计量技术，如下表所示。

激光计量在半导体工业中的应用

激光计量设备（如激光干涉仪）用于被动扫描和表征基板，使这种无损光学方法优于其他方法。此外，激光扫描计量技术具有高灵敏度、精度和准确性，这就是它被领先的半导体行业参与者广泛采用的原因。每个设备的质量都取决于制造机械的性能及其严格的过程控制。半导体制造设施优先考虑产量和吞吐量，推动晶圆检测工具集成到生产线中。这些工具为工艺优化提供实时3D数据，从而使纳米级的表征、粗糙度、晶圆翘曲度、薄膜厚度和缺陷检测成为可能。高精度机械的结果是高质量的设备，从而产生高质量的消费产品。

激光计量学面临的挑战

精确的激光计量需要最先进的组件，以最大限度地减少噪声并确保精度。高分辨率测量，尤其是对于使用极紫外光刻技术创建的特征，需要先进的光学解决方案。激光计量扫描可用于测量极紫外光刻创建的小型特征，极紫外光刻是一种尖端的光刻技术，用于在半导体器件中创建极小的特征。这种激光计量可以采用细长聚焦DOE来提高分辨率并增加检测范围。Holo/or的衍射光学元件产生的拉长焦点的插图如下所示。

衍射光学元件:高精度激光计量解决方案

Holo/or的衍射光学元件（DOE）为激光计量应用提供了一系列优势。衍射光学元件在半导体具有优势。高精度：严格的公差和近乎绝对的角度精度确保精确测量。定制：量身定制的照明区域，从倾斜线到均匀的平顶光，满足特定要求。设计支持：Holo/or使用客户提供的光学系统提供DOE性能的模拟。耐用性： 我们的DOE是蚀刻的、整体的熔融石英或硒化锌窗口，带有激光级AR涂层。它们具有高LDT、高稳定性，并且不含聚合物或其他软材料。

Holo/or专注于光束整形和分束解决方案，包括准直光束整形器，衍射棱镜阵列，衍射透镜阵列和衍射分束器。这些元件可以组合成一个组件，在单个表面中集成多种光学功能，并减少背向反射引起的干扰。

使用Holo/or的衍射光学元件把高斯光束生成平顶光

结论

集成到激光计量系统中的衍射光学元件可以提高半导体制造的系统性能和速度。通过提供精度、耐用性和定制性，这些元件增强了缺陷检测、计量和光刻工艺。Holo/or在衍射光学方面的专业知识提供了量身定制的解决方案，以满足半导体行业的苛刻要求，包括在客户的光学设置中模拟我们的组件的完整支持包络。查看我们的定制解决方案，并随时与我们联系以获取更多详细信息。

什么是衍射光学元件？

衍射光学元件（DOE）是利用微结构来操纵光波的光学元件。与传统的折射光学器件不同，衍射光学元件会改变光的相位，从而能够创建使用传统方法难以或不可能实现的复杂光图案。这些多功能元件在尺寸、精度和功能方面具有优势，使其成为光学和光子学中各种应用的理想选择。

为什么在激光计量和其他检测系统中使用衍射光学元件？

DOE表现出卓越的精度，使其非常适合激光计量和其他检测系统中要求苛刻的应用。Holo/or的专业知识可以将多种光学功能集成到单个DOE中，并制造具有不同子孔径的元件，每个元件都有特定的用途。此功能对于校正偏转角度或像差特别有价值。

在半导体制造机械中使用衍射光学元件有哪些要求？

为了确保半导体激光机械的最佳性能，DOE应集成在光学元件内的正确位置。对于大多数系统，这个位置是在聚焦光学元件之前。此外，光束尺寸应为小于光束整形器DOE的通光孔径二分之一，以实现均匀整形。