作者：戴xl 时间：2025-01-13
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki转动平台精度测量的技术指标，涵盖位置精度（含定位精度、重复定位精度、空行程、传动副间隙等）、动作精度（如台面跳动、同心度）、姿态精度（扭矩刚度、平行度）以及最小位移量（MIM）等方面，并给出了如OSMS-60YAW的位置偏差等详细测量结果（最大空行程0.0163°、重复定位精度向上0.0022°向下0.0009°、定位精度0.0330°等）和HST-120YAW最小位移量参考数据，有助于光学设备、精密仪器领域技术人员、研究人员及对产品精度有高要求用户深入理解产品性能特点与技术参数，为相关产品的应用、研发和选型提供关键参考依据。
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-位置精度
从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其最大值和最小值的差为定位精度，如图1（a）。在平台的任意位置，从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的最大值。定义其数值中的最大值为重复定位精度，如图1（b）。
图1：自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量（a）定位精度（b）重复定位精度
在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的最大值为空行程，如图2（a）。在平台的任意位置，向正方向或负方向加载一定推力，西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙，如图2（b）。
图2：自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量（a）空行程（b）传动副间隙
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-动作精度
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义转动平台转动1周时，其台面与安装底面在高度方向的最大偏移量为台面跳动；定义转动平台转动1周时，实际的转动轴与理想的转动轴的偏差值为同心度。
图3：电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量（a）台面跳动（b）同心度
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-（参考值）测量结果（OSMS-60YAW）
|
|
0 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
||||||||||||||
|
目标位置（°） |
0 |
29 |
58 |
87 |
116 |
145 |
174 |
203 |
232 |
261 |
290 |
319 |
348 |
||||||||||||||
|
定位方向 |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
|
|
位置偏差（°） 测量值·目标位置 |
第一次测量 |
0 |
1.5 |
-0.9 |
0.3 |
-1 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
0 |
1.2 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.3 |
-0.1 |
1 |
|
第二次测量 |
0.2 |
1.5 |
-0.7 |
0.3 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2. |
0.1 |
-0.6 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.3 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
第三次测量 |
0.3 |
1.5 |
-0.7 |
0.3 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
第四次测量 |
0.3 |
1.6 |
-0.7 |
0.3 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0 |
-0.6 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
-0.1 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
第五次测量 |
0.2 |
1.6 |
-0.7 |
0.4 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.4 |
0.3 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
-0.1 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
平均位置偏差X |
0.2 |
1.5 |
-0.7 |
0.3 |
-1 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
标准偏差X |
0.1 |
0 |
-0.1 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0. |
0 |
|
|
X+S |
0.3 |
1.6 |
-0.7 |
0.4 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-06. |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
0 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
X-S |
0.1 |
1.5 |
-0.8 |
0.3 |
-1 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.3 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
-0.1 |
1.3 |
-0.1 |
1 |
|
|
空行程B=X↑-X↓ |
1.35 |
1.07 |
0.84 |
0.88 |
1.25 |
1.54 |
1.63 |
1.36 |
1.22 |
1.27 |
1.30 |
1.39 |
1.20 |
||||||||||||||
|
最大(位置偏差)值S↑+S↓+|B| |
1.38 |
1.16 |
0.91 |
0.91 |
1.29 |
1.58 |
1.68 |
1.42 |
1.27 |
1.31 |
1.33 |
1.44 |
1.25 |
||||||||||||||
注：以上表格除目标位置数值外，最终结果均需*10-2。
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-结果
|
最大空行程 |
重复定位精度（单位定位精度） |
定位精度 |
台面跳动 |
平行度 |
同心度 |
|
|
↑ |
↓ |
|||||
|
0.0163° |
0.0022° |
0.0009° |
0.0330° |
12μm |
27μm |
8μm |
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-姿态精度
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义单位扭矩负载时的平台的角度位移量为扭矩刚度；定义平台台面在固定不动时，相对于安装底面的平行程度为平行度。
图4：自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量（a）扭矩刚度（b）平行度
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-最小位移量（MIM）
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的最小移动分辨率为最小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。
图5：自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-最小位移量（MIM）
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-（参考数据）最小位移量（MIM）HST-120YAW
图6：正方向与负方向移动最小位移量（MIM）HST-120YAW
