美国Lumencor固态光源在半导体工艺上的应用，LED与激光整合的光引擎

照明用光源在整个半导体制造过程中发挥着重要作用。美国Lumenco固态光源将LED、导光管和激光器进行整合，在半导体制造工艺方面作为光源具有许多优势。美国Lumencor光引擎可以给半导体工艺的缺陷检测、光刻、覆盖、计量和封装检测等各种应用方面提供精确、稳定、长寿命的照明。

光刻应用

半导体制造工程中，光刻系统通常会采用超高性能的透镜，将大型玻璃板光掩模上绘制的高度复杂的电路图形缩小，并曝光到晶圆的硅衬底上。现代的光刻技术已经十分先进，能够生产许多精细的产品。但是这些光刻技术对于照明的要求很高。不管是DUV还是EUV光刻技术都需要专门的照明技术。美国Lumencor固态光源对异构集成和 BEOL 的进步的兼容能力为低成本、更高功率、更稳定和更长寿命的照明解决方案打开了大门。

在半导体的光刻应用中，美国Lumencor固态光源可以使用LED光源作为照明光源进行使用。LED光源的使用寿命长，没有预热时间，在需要的时候可以即刻提供照明，这对于需要快速反应的应用场景有着很大优势。美国Lumencor光引擎具有多种类LED光源可选，集成度高，可以根据加工材料的属性调整发出的光源。

半导体的缺陷检测

对半导体缺陷检测的流程中，LED 和激光器两种光源之间的选择取决于具体的检测需求。两种光源具有各自的优势，并往往以互补的方式使用，以确保在半导体制造中进行尽可能全面和准确的缺陷检测。美国Lumencor固态光源将LED、导光管和激光器进行整合，使得这两种光源互补使用的方式更加简便快捷。

在高分辨率成像、无损检测和缺陷定位等半导体缺陷检测应用中，激光器作为光源的应用会更加具有优势。激光的特性使得高分辨率成像、无损检测和缺陷定位更加容易，为工艺优化和缺陷缓解提供有价值的信息。但是缺陷检测的工程中常常伴随着照明环境的严苛需求，更好更均匀的照明环境使得半导体晶片上的缺陷暴露无遗，将LED作为光源的美国Lumencor的光引擎可以提供稳定光源与均匀的照明。波长的可选性也使得其更加通用，半导体缺陷检测中不同的波长下，不同的材料缺陷有着不同的特性，可调整的光源减少了半导体缺陷检测流程中不必要的重复检查次数，也降低了缺陷遗漏的概率。

其他半导体工艺应用

美国Lumencor固态光源不仅在常用的半导体工艺，无损检测和缺陷定位等半导体缺陷检测应用中中有着广泛的应用，在研发和科学探究的应用中同样频繁。美国Lumencor光引擎提供的一致性高，可控制的稳定光源可以作为机器人视觉的照明光源，这对于捕捉高质量的图像至关重要。

在光伏器件的测试中，为了获得新材料的光电导率和量子效率特性等参数，稳定且可调的稳定人造光源至关重要。美国Lumencor的光引擎不仅提供了稳定的光源，还将多达 21 个固态光源组合在一起，以实现任何所需的光谱分布。为测试提供了更广泛的应用和更长久的使用时间。