作者： 时间：2025-02-08
OptoSigma/西格玛光机/Sigmakoki精密平台在机构上使用了无空行程的弹性变形金属结构以及压电陶瓷的变形放大机构。OptoSigma/西格玛光机公司的独创设计，实现了闭环控制时的10nm的分辨率，是高速度，精密定位用最合适的自动平台。
纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的构造
图1：SFS-H内部构造图
SFS系列是小位移传感器，不需要高精度的模拟信号放大器或AD变换回路，就可以实现闭环控制。并且，压电陶瓷驱动机构和变形放大机构实现了较大的行程范围。
图2：变形放大方法示意图
纳米台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米定位平台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的使用环境
请在制定工作稳定范围内使用精密位移台。
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使用环境 |
推荐使用环境 |
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温度 |
10℃~30℃ |
温度 |
20℃±1℃ |
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湿度 |
20%~60%（非结露） |
湿度 |
40%以下 |
SFS/SFS-H系列位移台上使用的压电陶瓷元件，在高湿度的环境中使用时，其耐久性可能会恶化，请注意。
压电陶瓷平台/纳米定位平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列配置图
图3：SFS系列配置图
精度测定案例：纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS-H平台
0↔75μm往复频率（16Hz），闭环控制时，使用SFS-H60X，载荷150g。
0→1μm步进收敛数据（15msec）闭环控制时，使用SFS-H60X，载荷150g。
图4：高速收敛数据
开环控制时的移动量显示压电执行机构的磁滞曲线。
图5：位移量
0↔80μm直线性误差在0.3%以内，闭环控制时，使用SFS-H60X，载荷150g。
图6：直线性
闭环控制状态下微小进给时的特性。没有了开环控制时的磁滞特性
图7：微小进给特性
直线度：前进方向的直线度。
图8：直线度
俯仰：相对前进方向而言的俯仰误差
图9：俯仰
左右摆动特性：相对前进方向左右摆动角。
图10：左右摆动特性
输入模拟信号时的响应特性例：SFS-H（平移台）*使用FINE-01γ控制时
高速收敛数据输入信号：深蓝色／位移量：淡蓝色，图11（1），SFS-H40X阶梯波（步进50nm的20个台阶）；图11（2），SFS-H40X锯齿波输入波形（等速运动35µm1Hz）；图11（3），SFS-H40X矩形波（30Hz）；图11（4），SFS-H40X正弦波（30Hz）。
图11：输入模拟信号时的相应特性示意图
