作者: 时间:2021-09-28
微透镜阵列,其本质是小尺寸的透镜,在衬底上,按照一定的排列组合而成的微纳光学元件。因于其独特的结构,可对光进行细致而精确的调整,可针对不同的应用,改变微透镜的尺寸和位置、面型等,以做特定设计。
微透镜阵列常见的应用主要有:光纤通信中的光纤耦合,可大大提高耦合效率,同时操作方便;波前传感,通过特定的设计,让每一个微透镜的聚焦刚好适配探测器阵列的探测面;激光加工,通过微透镜阵列加原高斯分布的光源匀化成平顶光,并整形出对应的形状,可以有效的提高激光加工的质量和效率。此外还有光场成像,光源准直等诸多用途。
目前市面上常见的微透镜阵列生产商,主要有Edmund,Thorlabs, Limo,RPC,SUSS。国内微透镜阵列起步较晚于国外,海纳光学在微透镜阵列生产上有十几年的经验,经历多年的沉淀成长,生产工艺技术逐渐逼近海外生产厂家的水平。 下表就我司和几个厂家海外厂家官网已有的标准品型号的主要参数(口径,焦距,面型和材料)做了列表。以供有需要者在采购时可清晰的对应自己需求的参数。
厂商 |
海纳光学 |
Edmund |
Tholabs |
Limo |
RPC |
SUSS |
子口经/um |
28-1000 |
250-500 |
150、300 |
500、800、1300 |
100、125、250 |
250-500 |
焦距/mm |
0.08-153 |
0.6-46.70 |
4.1、5.2、14.6 |
4.23-206.5 |
4-30 |
2-11.2 |
镜片面型 |
平凸 |
双凸 |
平凸 |
平凸 |
平凸 |
平凸、双凸 |
可选材质 |
熔融石英、塑料、玻璃 |
熔融石英 |
熔融石英 |
熔融石英,BK7,S-TIH53 |
石英上聚合物 |
熔融石英 |
与Edmund,Thorlabs, Limo,RPC,SUSS国外大厂相比,海纳光学提供更多的微透镜阵列现货标准品型号,可以更快、更便捷的满足客户的需求。材质上囊括了常见的熔融石英、塑料和玻璃。在子口经以及焦距上具有更多的可选择性。子单元口径涵盖范围为28-1000μm,不同型号焦距范围包括0.08-153mm。除了现有的标准品,维尔克斯光电有限公司的微透镜阵列产品也支持定制,在定制方面,主要的要求限制有有3个:1.子单元(微透镜)的pitch值介于15-1000μm。2.子单元的矢高(穹顶到衬底的高度sag)介于0.7-17μm。3.只能加工单片平凸结构,双凸加工不了。只要在要求范围内,我们均可根据客户的需求提供实惠高质量高性价比的产品定制服务。
微透镜阵列材质上,均以熔石英为主,部分厂家更关注与BK7玻璃衬底上聚合物的材质。两种材质相比BK7玻璃衬底上聚合物的材质更适用批量生产。但是熔融石英在透光性和耐温性上有更优异的表现,适用于高功率光源的激光加工厂家或者实验项目。而塑料材质,使用功率推荐在mW级别,最大不建议超过2W。当然,承受问题,还与入射光斑的大小相关。
微透镜阵列结构上,更多是以平凸结构为。主要原因是平凸的加工难度会比双凸的简单,成本上会比双凸低许多,性价比更高。而且双凸结构的光路,可用两片平凸的作为代替,光路灵活性更高。而双凸结构,具有更高的特定性,虽然其适用范围不如平凸那么灵活,但是涉及到高紧凑的元件集成或者系统的稳定提高,双凸会比双片平凸微透镜阵列的光路更具优势。
至于微透镜的尺寸(或者说Pitch值)和焦距,两者之间具有一定的对应关系。不同厂家的不同设备,可加工微透镜单元的高度范围有限。微透镜的矢高sag值,进一步限定口径和焦距。通常而言,如果可加工的Sag值比较小,那么,微透镜阵列就会出现焦距小,Pitch也小的情况,两者之间的比值差异不会太大。当然,这两个参数的加工能力还与厂家的加工工艺相关。常见的熔融石英加工工艺是光刻蚀,而塑料微透镜阵列,更多是采用膜压工艺。膜压工艺虽然精度可控性不如光刻蚀,且开模费用昂贵,但是,一旦需求的量较大,批量的情况下,其成本对比熔融石英的微透镜阵列有明显的降低。
因为Edmund,Thorlabs, Limo,RPC,SUSS和维尔克斯的厂家微透镜阵列生产厂家,各自面对的市场不同,所以标准品情况各不相同,部分厂家的标准品型号并不多。