作者： 时间：2022-05-04
Piezoconcept是压电纳米平台，压电纳米台和纳米平移台的领先供应商，其应用领域包括但不限于超分辨率显微镜、光阱和原子力显微镜，已经广泛被世界一流大学和研究所从事前沿研究的知名科学家使用。Piezoconcept采用高精度硅传感器，提供比高端电容传感器更精确的纳米定位反馈。
这篇文章将带领大家认识并了解纳米平移台的各种参数。下表是Piezoconcept一轴平移台FOC.500的参数图，我们可以通过参数图了解到FOC.500是一款运动范围500um，分辨率0.5nm，本底噪声0.05nm，重复性1nm，线性度0.02%，共振频率200Hz，刚度0.25N/um, 高精度硅传感器，尺寸长宽高59×63.3×41mm，材料铝/不锈钢/黄铜，电缆长度为2m，高速控制器，最大负荷横向使用1kg，纵向使用0.5kg。下面我们将列出各个参数的含义，方便大家了解。
Piezoconcept纳米平移台参数
运动范围：纳米定位器的最大位移。
分辨率：平台可以移动的最小步长。
本底噪声：当平移台处于静态指令时，平移台晃动的振幅。它通常用峰值来测量和指定。它是传感器噪声、驱动器电子噪声和指令噪声等的组合。由于我们使用的硅HR传感器的信噪比非常高，所以我们平台的位置噪声非常有限。
重复性：用相同的方法，同一试验材料，在相同的条件下获得的一系列结果之间的一致程度。相同的条件是指同一操作者，同一设备，同一实验室和短暂的时间间隔。
线性度误差:实际位置和一阶最佳拟合线（直线）之间的误差。我们的纳米定位产品通过激光干涉仪进行校准，非线性误差被补偿到全行程的0.02%。
共振频率：压电台是以共振频率为特征的振荡机械系统。我们给出的谐振频率是纳米定位器上可以看到的最低谐振频率。一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性就越高，工作带宽就越宽。压电台的谐振频率是由坚固性和质量之比的平方根决定的。
刚度：刚度是使物体产生单位变形所需的外力值。刚度与物体的材料性质、几何形状、边界支持情况以及外力作用形式有关。
硅HR传感器:Piezoconcept使用温度补偿的高分辨率硅传感器网络来达到最高的长期稳定性。这种测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，其反应不像其他高端传感器那样依赖于污染物的存在和气压的变化。
绝对精度：实际位置与期望位置之间的偏差。如果一个平台必须移动100µm，但它只移动了99.99µm（通过一个理想的刻度测量），那么不准确度为10nm。沿着一个轴的永久定位误差被指定为精度。绝对精度受校准误差、线性误差、磁滞、阿贝误差和定位噪声的影响。
反冲力：反冲力是改变方向时发生的定位误差。齿隙可由预载推力不足或驱动部件啮合不准确引起，如齿轮齿。Piezoconcept的挠性运动平移机构和压电执行器设计本质上是没有反冲的。
带宽：平台运动的振幅下降3dB的频率范围。它反映了平台可以跟随驱动信号的速度。
漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境的影响。漂移可能来自于机械系统和电子设备。
摩擦。摩擦被定义为运动过程中接触面之间的阻力。因为他们使用弯曲，所以摩擦可能是恒定的或与速度有关。而Piezoconcept的纳米定位器是无摩擦的。
滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。闭环控制是这个问题的理想解决方案，通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。
正交性误差:两个定义的运动轴的角度偏移，使其相互之间成为正交。它可以被解释为串扰的一部分。
阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的10%到指令值的90%所需的时间。阶跃响应时间反映了系统的动态特性。
