作者： 时间：2024-05-31
美国Rainbow Research Optics (RRO) 专门定制各种光学产品，专注于从193nm到14um的波长范围，具备优异的定制能力，包括各种紫外到红外光学元件，如透镜、反射镜、窗片、棱镜、波片，分光镜和滤光片等。以下简单讲述美国RRO反射镜(部分反射镜、金属反射镜和准分子反射镜等)的定制能力，以及一些基础参数和标准，帮助用户快速选出合适的定制反射镜方案。
1、部分反射镜Partially Reflecting Laser Mirrors：
部分反射镜的材质主要是紫外线熔融石英、CaF2或BK7，其波长范围193nm-3000nm左右，另外，除了标准的尺寸参数，还可根据用户的需求定制更多的激光反射镜。
基础参数表：
|
基底材质：紫外线熔融石英、CaF2或BK7 |
|||
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
楔形 |
<3 are min |
|
S1表面质量 |
10-5 laser quality |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S2 表面质量 |
商业表面处理 |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
损伤阈值 |
1 j /cm2 10ns pulse |
|
厚度公差 |
±0.25mm |
附着阈值 |
Per MIL-C-675A |
尺寸波长参数参考表：
|
尺寸 |
标准波长(nm) |
参考数据(%) |
|||
|
编码 |
直径 |
厚度 |
nm |
nm |
% |
|
0512 |
0.500″ |
0.125″ |
193 |
694 |
10±2 |
|
0525 |
0.500″ |
0.250″ |
213 |
755 |
20±3 |
|
0537 |
0.500″ |
0.375″ |
244-257 |
780 |
25±3 |
|
0712 |
0.750″ |
0.125″ |
248 |
800 |
30±3 |
|
0725 |
0.750″ |
0.250″ |
266 |
830 |
35±3 |
|
0737 |
0.750″ |
0.375″ |
308 |
850 |
40±3 |
|
1012 |
1.000″ |
0.125″ |
337 |
940 |
50±5 |
|
1025 |
1.000″ |
0.250″ |
355 |
1053 |
60±4 |
|
1037 |
1.000″ |
0.375″ |
364 |
1047,1053 |
70±4 |
|
1525 |
1.500″ |
0.250″ |
488-529 |
1064 |
75±4 |
|
1537 |
1.500″ |
0.375″ |
488-515 |
1235 |
80±4 |
|
2025 |
2.000″ |
0.250″ |
527 |
1319 |
85±4 |
|
2037 |
2.000″ |
0.375″ |
532 |
1550 |
90±3 |
|
3037 |
3.000″ |
0.375″ |
589 |
2010 |
95±2 |
|
3050 |
3.000″ |
0.500″ |
633 |
2100 |
95±1 |
|
4050 |
4.000 |
0.500″ |
670 |
2940 |
99±0.5 |
*以上是参考数据，更多详细参数可根据用户的需求进行评估和定制。
2、高能量激光反射镜High Energy Laser Mirrors：
这些高能量激光反射镜覆盖了ArF（λ= 193nm）和XeF（λ=352nm）的激光线。另外，外腔高能准分子反射镜被设计成能承受高脉冲功率，每个光学元件的表面平整度优于λ/10，表面光洁度为10-5划痕深度。
特点：ArF和XeF准分子激光线镜，高伤害阈值
基础参数：
|
基底材质：UV CaF2 or VUV MgF2 |
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|
S1表面 |
λ/10@633nm |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
表面质量 |
10-5 laser quality |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
损伤阈值 |
1 j /cm2 10ns pulse |
|
厚度公差 |
±0.25mm |
附着阈值 |
Per MIL-C-675A |
|
楔形 |
<3 are min. |
最小反射率 |
R>97%@633nm, R>99.5%@248nm~353nm |
3、高能量准分子激光反射镜High Energy Excimer Laser Mirrors：
193nm,248nm准分子激光反射镜Excimer Laser Mirrors, ArF(193nm) / KrF(248nm)基础参数:
|
基底材质：BK7 |
|||
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S1表面质量 |
10-5 laser quality |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
S2表面质量 |
商业表面处理 |
损伤阈值 |
1 j /cm2 10ns pulse |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
附着阈值 |
Per MIL-C-675A |
|
厚度公差 |
±0.25mm |
最小反射率 |
ArF ≥ 97.0% KrF ≥ 99.0% |
*除了193nm,248nm准分子激光反射镜，还有XeCl(308nm) / XeF(351-353nm)/ He-Ne反射镜可选。
4、氩离子激光反射镜Argon-Ion Laser Mirrors
氩离子反射镜有一层特殊的涂层，可在与氩离子激光器发射波长一致的波长范围内提供高反射率。这种涂层具有较高的损伤阈值，适合与大框架高功率CW（连续）氩离子激光器的输出光束一起使用。
基础参数：
|
基底材质：UV fused silica, CaF2 or BK7 |
|||
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S1表面质量 |
10-5 laser quality |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
S2表面质量 |
商业表面处理 |
楔形Wedge |
<3 are min |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
厚度公差 |
±0.25mm |
5、Nd:YAG/Nd:YLF激光反射镜：
基础参数：
|
基底材质：BK7 |
|||
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S1表面质量 |
10-5 laser quality |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
S2表面质量 |
商业表面处理 |
损伤阈值 |
10j /cm2, 10ns pulse |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
楔形Wedge |
<3 are min |
|
厚度公差 |
±0.25mm |
附着力和耐久性 |
Per MIL-C-675A |
其中，Nd:YAG/YLF双反射激光反射镜的半径公差±0.5%。
6、0-45°可见光激光反射镜（488-694nm）：
基础参数：
|
基底材质：UV fused silica, CaF2 or BK7 |
|||
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S1表面质量 |
10-5 |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
S2表面质量 |
商业表面处理 |
附着力和耐久性 |
Per MIL-C-675A |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
厚度公差 |
±0.25mm |
还有0-45°半导体激光反射镜可选。
7、镀铝、镀银和镀金激光反射镜：
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镀铝、镀银和镀金反射镜的基础参数 |
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基底材质 |
紫外熔融石英或BK7 |
厚度公差 |
±0.25mm |
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
楔形Wedge |
<3 are min |
|
S1表面质量 |
10-5 laser quality |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S2表面质量 |
商业表面处理 |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
附着力和耐久性 |
Per MIL-C-675A |
8、其他激光反射镜Miscellaneous Laser Mirrors：
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氮气激光镜 |
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基底材质 |
UV熔融石英或BK7 |
楔形Wedge |
<3 are min |
|
S1表面 |
λ/10@633nm |
清晰孔径 |
>85% of diameter |
|
S1表面质量 |
10-5 laser quality |
倒角 |
0.3mm at 45 typical |
|
直径公差 |
+0.0/-0.20mm |
损伤阈值 |
1j/cm2 10nsec Pulse |
|
厚度公差 |
±0.25mm |
附着力和耐久性 |
Per MIL-C-675A |
另外，还有氦-镉(He-Cd)激光反射镜，铜蒸气(Copper Vapoor)反射镜，氦氖(He-Ne)反射镜（632.8nm）， 红宝石(Ruby)反射镜(694.3nm)，翠绿宝石(Alexandrite)反射镜（720-780nm），二极管(Diode)反射镜，Forsterite (1235nm)/Lodine (1315nm)反射镜 ，Er:Glass反射镜，TM:YAG(2010nm)/Ho:YAG(2100nm)反射镜和Er:YAG激光反射镜(2940nm)等可定制生产，更多详情，请联系我们。
