作者: 时间:2023-10-18
Quarter Research微定位器的行程包含7.62mm、10mm、12.7mm、25.4mm以及50.8mm。XYZ 500 系列的XY和Z轴行程为0.500英寸,有亚微米分辨率和微米分辨率可供选择。XYZ 2000系列XY和Z轴行程为2英寸,分辨率为0.5μm。QP150系列微型定位器的X/Y轴和Z轴的行程范围为10mm,通过多螺纹面板还可以进行±12mm的Z 轴粗调,从而可以灵活地适应各种探针站,并适应压盘与被测物之间的不同高度偏移。面对多种类的Quater Research微定位器,应该怎样去选择合适的微定位器呢,以下是关于Quater Research选型的常见问题:
微定位器安装在什么上面?
首先需要清楚您是将定位器安装在探针台、夹具上,还是其他什么地方?您之所以需要知道这些,是为了了解您需要达到什么样的目标。在进行Quater Research选型时,您需要知道从定位器基座到目标中心的距离,也就是所谓的到达距离。此外,您还必须记住计算针的长度。 如果您打算使用有源测头,如 Pico Probe® 12C 或类似测头,甚至是用于多触点测头的 Co-Planar 测头,您需要知道它们的长度和落距,以便将其计算到您的配置中。
微定位器的安装点是否与目标相平,还是更高或更低?
这将决定您在配置时需要计算的下降或上升高度。 测头站的卡盘既有低于压盘水平的,也有高于压盘的,没有统一标准。
您要安装在什么表面上?
磁性底座可能是最坚固的,但移动起来会比较困难。 真空底座很容易移动(通过阀门释放真空),但有时需要放弃握力。 也可以使用硬底座,用螺栓将定位器固定到位,但如果您需要的移动量大于定位器的行程,这种方法就行不通了。
看完选择微定位器的常见问题后,接下来介绍微定位器的常见术语和定义,帮助您更好的了解微定位器,做好Quater Research选型。
分辨率:
这是指定位器的机械驱动力,通常以导螺杆每转一圈的移动量来衡量,而导螺杆则以每英寸螺纹数或TPI来衡量。 TPI 越高,分辨率越高;但从头到尾的移动速度也越慢。 如果目标较大,则不需要100 TPI的定位器,40 TPI的定位器可能更适合您。 但如果您要探测一微米的痕量,使用低分辨率的定位器会让您非常沮丧,因为大多数情况下您都会偏离目标。 亚微米目标最好使用电动定位器进行探测,因为只要接触或松开定位器,就可能导致测针跳离目标。 探测几何形状的简单经验法则是:3 微米及以上 40 TPI,1-5 微米 100 TPI,小于 1 微米使用机动定位器。
行程:
行程或冲程是定位器从物理停止点到物理停止点之间的最大移动距离,通常以英寸或毫米为单位。 大多数定位器的行程为直线,但有些定位器的设计使其行程为弧线。 弧线的主要缺点是,如果您要沿着一行探测,最终将不得不移动定位器上的另一个轴以保持在这一行或线上。 而线性移动式定位器会保持在行上,前提是您将定位器设置为与行或线平行。
千分表头与旋钮:
许多人认为,带有千分尺的微型定位器比只有旋钮和螺钉的微型定位器更精确。 实际上,这并不总是正确的;这取决于千分表的 TPI 与标准旋钮型号中导线螺钉的 TPI。 有些千分尺的 TPI 比标准旋钮和导杆螺钉的 TPI 要低。 如果您要测量行走的距离,千分尺头确实不错。 但它们也比标准旋钮占用更多空间,因此如果您不使用定位器测量从一个垫块到另一个垫块的距离,它们往往比标准导螺杆设计更笨重。
手动和电动:
大多数微型定位器都是手动的,这主要是出于成本考虑,电动定位器的成本更高。您不仅要购买定位器,还要购买控制装置。 不过,对于高分辨率或亚微米探测,您可能必须使用电动定位器。 这样做的好处是,您不需要触摸定位器来移动它,从而不会造成意外移动。 电动定位器还可用于暗箱、环境室或手无法触及的地方。 有些电动定位器甚至可以通过编程从一个目标移动到另一个目标,有些控制器还可以运行多个定位器。