多行程多台面可选的闭环控制平台，台面大小75~330mm，西格玛光机高分辨率位移台介绍与选型指导

西格玛光机推出的闭环控制平台型号繁多，用户在选型电控位移台初期可能对自己的需求和西格玛光机闭环载物台产品的参数了解的不够清晰明确，本文将西格玛光机对闭环位移台的选型指导进行部分要点整理，方便客户对自己实际的参数需求有着更加明确的理解，减少客户因为参数需求不明确造成的时间浪费。

闭环控制平台

西格玛光机的电控平移台是使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环载物台，经过了CE和UKCA认证。内置有光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。西格玛光机的闭环位移台采用滚珠丝杠进行驱动，因此和压电平台相比，西格玛光机的高分辨率位移台的可移动的距离较长，因此可以选择的型号相比于压电平台多了不少。

西格玛光机的闭环控制平台适合在温度变化幅度不大的环境中使用，厂家建议电控位移台的使用环境温度在（23±1℃）。过高或者过低的环境温度都会使西格玛光机的闭环控制平台的使用寿命和精度收到一定的影响。客户使用过程中尽量避免在空气中含有油污或者杂质的环境下继续使用闭环载物台。西格玛光机的高分辨率位移台采用光栅尺进行定位，如果光栅尺遭受污染的话，西格玛光机闭环位移台可能在定位时会产生误差。

图片简单的根据设备的分辨率列出了西格玛光机的闭环控制平台可以选用的量程型号。其中西格玛光机的闭环位移台1nm分辨率的闭环载物台最大位移行程为100mm。适合X射线研究等精度很高的应用。10nm和50nm的高分辨率位移台有行程更大的型号，在不同的应用场景中有不同的选择可用。