作者： 时间：2024-01-08
Prior•Queensgate和普爱纳米位移技术（PI）都是全球头部的生产纳米Z轴的厂家。通过Prior SP系列和PI
P-737系列的纳米Z轴定位台的对比我们可以知道，两家的标称分辨率都最高可达几纳米，Prior•Queensgate的SP系列的压电纳米定位台的行程覆盖400-800um，而PI主要覆盖150-550um，都有多个纳米Z轴行程可选。
Prior•Queensgate为用户提供压电纳米定位台SP系列的产品，产品系列包括SP400/SP600/SP800，通过NPC-D-6110单轴控制器实现纳米精度的压电纳米定位台，适配多种显微镜型号和Prior的载物台。NanoScan压电纳米定位台可实现0.7 nm精度定位。
NanoScan SP系列压电纳米扫描台
普爱纳米位移技术（PI）也是全球领先的在运动与定位领域的解决方案供应商，设计生产了P-737系列压电纳米Z轴，可以与Prior的SP系列压电纳米Z轴对比。
PI的P-737系列纳米压电定位台产品采用零间隙柔性铰链导向技术，无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且对冲击和振动不敏感。百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。P-737系列纳米Z轴可选行程包括100um、250um、500um，分辨率可达2.5nm.
PI的P-737系列纳米压电定位台
本文进行了PriorSP系列和PIP-737系列的纳米Z轴定位台的对比。方便您决定选择Prior还是PI的纳米Z轴压电定位台？行程100~800μm。下方表格进行了P-737系列和SP系列对比，压电纳米Z轴对比了相关的参数，可以更加直观的进行判断。
SP系列纳米Z轴各型号参数对比如下：
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规格参数 |
SP800 |
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|
闭环行程 |
400 um |
600 um |
800 um |
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开环行程 |
490 um |
730 um |
970 um |
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分辨率（RMS 位置噪音） |
0.7 nm |
0.7 nm |
1.2 nm |
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线性度 |
0.2% |
0.2% |
0.2% |
|
重复性 |
3 nm |
3 nm |
3 nm |
|
谐振频率，空载 |
260 Hz |
230 Hz |
185 Hz |
|
谐振频率，200g负载 |
170 Hz |
155 Hz |
138 Hz |
|
谐振频率，500g负载 |
120 Hz |
115 Hz |
105 Hz |
|
外形尺寸LxWxH |
260x164x13.7 mm |
260x164x13.7 mm |
260x164x14 mm |
PI的P-737系列纳米Z轴各型号参数对比如下：
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规格参数 |
P-737.1SL |
P-737.2SL |
P-737.5SL |
|
闭环行程 |
100 um |
250 um |
500 um |
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开环行程 |
150 um |
280 um |
550 um |
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分辨率（闭环） |
2.5 nm |
4 nm |
5 nm |
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线性度 |
0.2% |
0.5% |
0.8% |
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重复性 |
6 nm |
12 nm |
15 nm |
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谐振频率，空载 |
270 Hz |
210 Hz |
122 Hz |
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谐振频率，100g负载 |
230 Hz |
180 Hz |
115 Hz |
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谐振频率，200g负载 |
210 Hz |
155 Hz |
100 Hz |
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外形尺寸LxWxH |
220.5x138x27.3 mm |
220.5x138x27.3 mm |
220.5x150x27.3 mm |
Prior SP系列和PI P-737系列的纳米Z轴定位台的对比总结：
1、P-737系列和SP系列对比来说，都采用了压电技术。
2、PI的P-737系列纳米压电定位台和Prior•Queensgate的SP系列的压电纳米定位台都有多个Z轴行程可选。
3、Prior•Queensgate的SP系列的压电纳米定位台的分辨率最高可达0.7 nm，PI的最高可达2.5 nm。
4、Prior•Queensgate的SP系列的压电纳米定位台的行程覆盖400-800 um，而PI主要覆盖150-550 um
5、PI的纳米压电定位台定位采用零间隙柔性铰链导向技术，无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。
6、PI的纳米Z轴目前来讲相对于Prior来说，交期更长。
