Kaleo Kit波前传感器测样，包括望远镜、凹面镜、大口径透射元件、大口径透镜、离轴透镜等波前传感器测试光路

作者：时间：2024-09-11

Kaleo Kit波前测量仪常用于以测量望远镜、凹面镜、大口径平面透射元件、大口径透镜/物镜、离轴透镜等为代表的各大类光学元件的波前传感器测样。PHASICS Kaleo波前测量仪的测试光路可以为单次透射、单次反射、两次透射、倾斜入射，且SID4 系列波前传感器具有自消色差特性并提供多种波段选择。Kaleo套件搭建好波前测量仪的测量光路后无需对特定波长单独校准，在波前传感器套件测量波长范围内均可直接使用。

面对多种光学元件的波前传感器测样，SID4波前传感器的测试光路有以下几种：

望远镜评估与校准的波前传感器测试光路：

Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，然后经过6（待测望远镜），并经过5反射后返回，沿原路再经过2进入1。

Kaleo套件测量步骤为：

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测望远镜，测量透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

凹面镜测量的波前传感器测试光路：

Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，然后经过4会聚，并经过6反射后返回，沿原路再经2进入1。

Kaleo套件测量步骤为：

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加凹面镜，测量经过待测面反射的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算此次反射的波前质量。

大口径平面透射元件测量的波前传感器测试光路：

Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，由3扩束（若需要），然后经过6（待测样品），并经过5反射后返回，沿原路再经2投射后进入1。

Kaleo套件测量步骤为：

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测物，测量两次透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

大口径透镜/物镜测量的波前传感器测试光路：

Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，由3扩束（若需要），然后经过6（待测样品），并经过5反射后返回，沿原路再经2投射后进入PHASICS SID4系列波前测量仪。

Kaleo套件测量步骤为：

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测物，测量两次透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

离轴透镜测量的波前传感器测试光路：

Kaleo Kit光路如下，光源2发出光后，再由3扩束（若需要），然后经过6（待测样品），并经过5反射后返回，沿原路再经2投射后进入1。

Kaleo套件测量步骤为：

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测物，测量两次透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

其中PHASICS SID4系列波前测量仪具体参数如下：

SID4 型号	测量波段	靶面尺寸（mm²）	空间分辨率	相位分辨率	相位精度	相位分辨率	真空兼容性
SID4 UV	190-400nm	7.8 × 7.8	26 μm	300 × 300	20 nm RMS	2 nm RMS	-
SID4 UV-HR	190-400nm	13.3 × 13.3	26 μm	512 × 512	40 nm RMS	2 nm RMS	-
SID4 HR V	400-1100nm	9.98 × 8.64	24 μm	416 × 360	20 nm RMS	2 nm RMS	10mbar
SID4	400-1100nm	5.02 × 3.75	27.6 μm	182 × 136	10 nm RMS	<2 nm RMS	-
SID4 HR	400-1100nm	9.98 × 8.64	24 μm	416 × 360	20 nm RMS	<2 nm RMS	-
SID4 UHR	400-1100nm	15.29 × 15.29	27.6 μm	554 × 554	-	5 nm RMS	-
SWIR	900-1700nm	9.6 × 7.68	120 μm	80 × 64	15 nm RMS	<2 nm RMS	-
SWIR HR	900-1700nm	9.6 × 7.68	60 μm	160 × 128	15 nm RMS	<2 nm RMS	-
eSWIR	1.2-2.2μm	9.6 × 7.6	120 μm	80 × 64	<40 nm RMS*	<6 nm RMS*	-
eSWIR HR	1.2-2.2μm	9.5 × 7.6	120 μm	159 × 127	<40 nm RMS*	<6 nm RMS*	-
DWIR	3-5μm和8-14μm	10.08 × 8.16	68 μm	160 × 120	75 nm RMS	25 nm RMS	-

*对于相干源

考虑到更特殊的波前传感器测样需求，PHASICS Kaleo Kit还能提供众多配件选择：

反射光源模块	扩束器	光圈F#		平面参考镜
反射光源模块	扩束器	可见光VIS	短波红外SWIR	平面参考镜
365 / 405 / 530 / 625 / 740 / 780 / 810 / 850 / 940 / 1050 / 1550 / 3900 nm	Ø15mm	0.4	2.5	2英寸
	Ø30mm	0.7	5	3英寸
	Ø60mm	1.2	10
	Ø100mm	2.1
	Ø130mm	3.3
		5
		9

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