PHASICS Kaleo套件，一站式波前测量仪选型指导，平行光源R-cube和SID4波前分析仪提供多种选择

作者：时间：2024-09-13

PHASICS提供了一套成熟的波前测量解决方案，Kaleo Kit。其中：平行光源R-Cube在365-3900nm波段中提供多种高质量的准直光束选择。PHASICS SID4系列波前传感器测量波长覆盖范围广，涵盖UV到IR，190-5000nm和8-14μm。R-Cube平行光管和SID4系列任一波前测量仪组成的PHASICS Kaleo套件都有成熟的测量光路方案和多种参数测量能力，Kaleo套件也可根据实际需求选购配件。

平行光源R-Cube配套Phasics SID4系列波前传感器可适用于各类镜片和大透镜像差测量、校准光学测试系统或自适应光学中的小型望远镜。平行光源R-Cube提供的高质量准直光束使得单次透反射、两次透射等不同测试光路中的波前测量变得简单而准确。

平行光源R-cube具体参数如下表：

适配SID4型号	SID4 UV / SID4 / SID4-HR / SID4-SWIR / SID4 SWIR-HR / SID4-DWIR
光束直径	适应相关SID4波前传感器NA
光源波长	365 / 405 / 530 / 625 / 740 / 780 / 810 / 850 / 940 / 1050 / 1550 / 3900 nm
参考镜质量	λ/20 PV (632.8 nm)
相位分辨率(噪声)	＜2nmRMS

PHASICS Kaleo波前测量仪套件中可选PHASICS SID4系列波前传感器具体参数如下：

SID4 型号	测量波段	靶面尺寸（mm²）	空间分辨率	相位分辨率	相位精度	相位分辨率	真空兼容性
SID4 UV	190-400nm	7.8 × 7.8	26 μm	300 × 300	20 nm RMS	2 nm RMS	-
SID4 UV-HR	190-400nm	13.3 × 13.3	26 μm	512 × 512	40 nm RMS	2 nm RMS	-
SID4 HR V	400-1100nm	9.98 × 8.64	24 μm	416 × 360	20 nm RMS	2 nm RMS	10 mbar
SID4	400-1100nm	5.02 × 3.75	27.6 μm	182 × 136	10 nm RMS	<2 nm RMS	-
SID4 HR	400-1100nm	9.98 × 8.64	24 μm	416 × 360	20 nm RMS	<2 nm RMS	-
SID4 UHR	400-1100nm	15.29 × 15.29	27.6 μm	554 × 554	-	5 nm RMS	-
SID4 SWIR	900-1700nm	9.6 × 7.68	120 μm	80 × 64	15 nm RMS	<2 nm RMS	-
SID4 SWIR HR	900-1700nm	9.6 × 7.68	60 μm	160 × 128	15 nm RMS	<2 nm RMS	-
SID4 eSWIR	1.2-2.2μm	9.6 × 7.6	120 μm	80 × 64	<40 nm RMS*	<6 nm RMS*	-
SID4 eSWIR HR	1.2-2.2μm	9.5 × 7.6	120 μm	159 × 127	<40 nm RMS*	<6 nm RMS*	-
SID4-DWIR	3-5μm和8-14μm	10.08 × 8.16	68 μm	160 × 120	75 nm RMS	25 nm RMS	-

*对于相干源

对于以望远镜、凹面镜、大口径透射元件、大口径透镜、离轴透镜为代表的五类光学元件，Kaleo Kit也提供了成熟的单次反射、单次透射、两次透射、透射及反射等波前分析仪测量光路：

上图中所用到的Kaleo套件标注为：

1：PHASICS SID4系列波前测量仪

2：反射光源模块

3：扩束器

4：聚焦镜

5：反射镜

6：待测样品

考虑到更特殊波前传感器测样需求，PHASICS Kaleo Kit还能提供众多配件选择：

扩束器	光圈F#		平面参考镜
	可见光VIS	短波红外SWIR
Ø15mm / Ø30mm / Ø60mm / Ø100mm / Ø130mm	0.4 / 0.7 / 1.2 / 2.1 / 3.3 / 5 / 9	2.5 / 5 /10	2英寸 / 3英寸