分束器用于准直激光干涉图像的Zemax模拟方法

近几年，利用高功率短脉冲准直激光干涉图像系统(DLIP)来重塑表面的结构，这一方面越来越受到人们的关注。由于使用Holoor的高功率衍射光学元件（DOE）应用在DLIP系统中的客户比较多，我们觉得非常有必要为该领域的客户提供系统的技术支持，并推出了DLIP光学系统的Zemax OpticStudio设计文件，并共享给有需要的客户。在Zemax软件中，能够模拟光束的基本性能和公差，还可以自定义的输入光学参数，如波长，光束大小，分离角度，阶数，焦距等。Holoor希望这份设计文件，不仅帮助专业人员去研究DLIP系统，方便他们去构建系统并且能够提出值得探索的技术问题，还鼓励更多的人在DLIP系统中去使用Holoor公司的DOE。

1、模拟模型的详细说明

该文件中包括一个含有平顶光束整形器的四光束干涉系统。在图1中，Holoor引用的一种DLIP系统的结构。如图2所示，使用Zemax OpticStudio模拟DLIP系统的3D展示图。

模拟参数如下：

该文件按照顺序进行编写，在相干系统的分析方法上具有一定的优势。下图是透镜的各项数据的页面窗口。

在图中左侧的第2行，设置了一个平顶光束整形器也就是图中的BlackBox，然后又设置了两个正交的衍射光栅，让它们来模拟2×2光束分束器。第10和11行的目的，是要构造一个棱镜，然后再设置一个坐标断点来准直被分束后的光束，由于Z轴旋转会导致X轴与Y轴也会发生位移，因此棱镜始终会使衍射光栅的光束准直射出。分束后的这四个光束，每一个光束都有独自的参数配置，可以在图3的“多配置”编辑器中看到。参数包括：衍射阶数，Z轴的旋转角度、断点坐标，和在X、Y轴的位移。

2、分析处理

首先，选用的是Huygens PSF软件进行分析。想看到干涉图像，要在Huygens PSF的软件中要选择ALL，来显示所有的配置。下图所示，Holoor公司展示的引用的DLIP系统的真实强度结果图。