作者：吴wq 时间：2025-04-10
西格玛光机1nm分辨率闭环控制平台，行程可达到100mm，闭环电动位移台非常适用于X射线研究等高精度应用。双向重复定位精度±4nm。内置光栅尺分辨率为1nm。OptoSigma的光栅尺位移台UPX系列一共有6种平台尺寸可以选择。从20mm~50mm中小行程的1nm分辨率闭环控制平台NFS60-20UPX，NFS60-40UPX，NFS100-50UPX与NFS120-50UPX到100mm较大行程编码器电动平移台NFS100-100UPX和NFS120-100UPX，可以满足大部分精密测量等应用的需求。
UPX系列1nm分辨率闭环控制平台
西格玛光机1nm分辨率闭环控制平台中的1nm分辨率内置光栅尺的分辨率为1nm。闭环电动位移台型号为UPX系列。导轨行程为20mm，40mm，50mm和100mm。OptoSigma闭环控制平台表面为铝合金材质，并且进行了黑色氧化处理。下表为SIGMAKOKI光栅尺位移台主要参数整理。
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1nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表① |
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型号 |
NFS60-20UPX |
NFS60-40UPX |
NFS100-50UPX |
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行程（mm） |
20 |
40 |
50 |
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台面尺寸（mm） |
75×60 |
110×60 |
110×100 |
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滚珠丝杠直径（mm） |
φ4 |
φ4 |
φ8 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
1 |
1 |
2 |
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定位精度（um） |
1 |
1 |
1 |
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光栅尺分辨率（nm） |
1 |
1 |
1 |
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重复定位精度（um） |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
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小范围双向重复定位精度 |
±4nm |
±4nm |
±3nm |
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承载能力（N） |
49 |
49 |
98 |
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最小位移量 |
3nm |
3nm |
3nm |
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最大运行速度（mm/sec） |
5 |
5 |
5 |
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运动平行度（um） |
10 |
10 |
10 |
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1nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表② |
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型号 |
NFS100-100UPX |
NFS120-50UPX |
NFS120-100UPX |
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行程（mm） |
100 |
50 |
100 |
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台面尺寸（mm） |
175×100 |
120×120 |
175×120 |
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自重（kg） |
φ8 |
φ8 |
φ8 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
2 |
2 |
2 |
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定位精度（um） |
2 |
1 |
2 |
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光栅尺分辨率 |
1nm |
1nm |
1nm |
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重复定位精度（um） |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
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小范围双向重复定位精度（um） |
±3nm |
±3nm |
±3nm |
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承载能力（N） |
98 |
98 |
98 |
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最小位移量 |
3nm |
3nm |
3nm |
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最大运行速度（mm/sec） |
5 |
5 |
5 |
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运动平行度（um） |
10 |
10 |
10 |
对于设备的有一定的体积要求的，OptoSigma 的NFS100-50UPX型号是不错的选择，该型号不仅台面尺寸合适，而且载重性能优秀，可以通用于很多测量和观察的应用。相比于承载能力较小的闭环电动位移台NFS60-20UPX和NFS60-40UPX型号，NFS100-50UPX的载重能力能使其胜任小距离位移但是设备重量较高的应用。NFS100-100UPX，NFS120-50UPX，NFS120-100UPX西格玛光机这三款光栅尺位移台属于大台面尺寸闭环控制平台，对于大行程和较高载重的应用场景具有独特的优势。
SIGMAKOKI 编码器电动平移台的NFS60-20UPX，NFS60-40UPX，NFS100-50UPX，NFS120-50UPX，NFS100-100UPX和NFS120-100UPX这6种型号采用的电机类型有一定的区别NFS60-20UPX和NFS60-40UPX两款采用的是0.35A/相的五相步进电机，设备的发热较少，扭矩较小。而NFS100-50UPX，NFS120-50UPX，NFS100-100UPX和NFS120-100UPX这四款则是采用的0.75A/相的五相步进电机，输出的扭矩比较大，发热比较多。此外，如果有客户需求部分特殊的编码器电动平移台规格，SIGMAKOKI也可以进行部分规格的定制，从而满足客户的参数需求。
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