真空步进电机平台VTAMM系列和VSGSP系列在真空环境中的使用说明, optosigma真空电动平台

作者：包cx 时间：2025-01-15

sigma真空自动平台使用了不锈钢材料或铝合金整体结构和真空用润滑油脂的，配备了真空污染较少的真空用电机和接触式或机械式真空开关，以及选用了特氟隆绝缘电线。sigma真空自动平台均为真空步进电机平台，西格玛光机小型真空自动平台还获CE认证。

VTAMM60S系列真空电动平台的型号分为X轴VTAMM60S-20X，XY轴VTAMM60S-20XY，Z轴VTAMM60S-20Z。VTAMM60S系列真空电动平台的特点是结构紧凑，节省空间，便于内置于小型真空设备中。Optosigma VSGSP系列真空电动滑台分为直线运动平台VSGSP26-200(x)、VSGSP20-85(x)、VSGSP20-35(x)和旋转平台VSGSP-120YAW、VSGSP-60YAW。

西格玛光机小型真空自动平台VTAMM60S-20系列的行程为20mm，台面尺寸55×60mm。VSGSP系列真空电动滑台行程为35mm、85mm和200mm。VTAMM系列真空电动平台和VSGSP系列真空电动滑台在电机部位和极限位置传感器部处，附有1m长的散线。

sigma真空自动平台VTAMM60S-20和VSGSP-120YAW的图示

在真空环境中，一般而言，其散热条件比大气环境差，需要保证sigma真空自动平台电机外壳的温度不超过80℃。

型　号	放出气体量Q（排气40分钟后）
型　号	（Torr・ℓ/s/unit）	（Pa・ℓ/s/unit）
VSGSP26-200	4.77×10-4	6.36×10-2
VSGSP-60	6.75×10-5	9.00×10-3
VSGSP-120YAW	4.78×10-4	6.37×10-2

排气装置：涡轮分子泵STP-301（EDWARDS会社）

排气速度 : 300ℓ/sec

质量分析装置：四极质谱分析仪QME200（PFEIFFER社制造）

测量范围 : 1-200amu

放出气体量Q可从以下公式估算：

P：经过1段时间后的真空度

P’：密封时的真空度

N：Optosigma真空电动滑台单元数（1unit）

V：真空容器的容量（ℓ）

T：密封时间（600s）

根据实际测量结果可知，从真空步进电机平台中放出的气体成分主要是水蒸汽和氮气。其主要来源为附着在平台表面的大气成分。我们据此推测，真空用润滑油脂对真空度的影响不大。

真空腔内的真空度

质量成分比例：

分子量	成分比(%)			离子	气体分子
分子量	VSGSP-60	VSGSP26-200	VSGS-120YAW	离子	气体分子
1	19.58	19.96	17.9	H⁺	H₂，水蒸气，碳氢化合物
2	2.81	5.28	3.34	H₂⁺	H₂，水蒸气，碳氢化合物
12	0.6	0.85	0.79	C⁺	CO,CO₂,碳氢化合物
13	0.17	—	—	CH⁺	碳氢化合物
14	0.79	1.26	0.91	N⁺，CO²⁺，CH₂⁺	N₂,NH₃,CO,碳氢化合物
15	—	2.37	—	CH₃⁺.NH⁺	碳氢化合物，NH₃
16	3.03	-—	2.98	O⁺，CH₄+，NH₂⁺	O₂，CH₄，NH₃
17	15.77	—	14.48	OH⁺, NH₃⁺	H₂O，NH₃
18	48.02	17.3	43.89	H₂O⁺	H₂O
20	0.22	—	0.29	HF⁺，Ar²⁺	HF，Ar
26	0.33	一	0.53	C₂H₂⁺	碳氢化合物
27	0.83	4.53	1.52	C₂H₃⁺	碳氢化合物
28	2.17	2.49	2.76	CO⁺，N₂⁺,C₂H₄⁺	CO,CO₂，N₂, 碳氢化合物
29	0.73	6.08	1.44	C₂H₅⁺	碳氢化合物
30	0.08	—	—	C₂H6⁺，NO⁺	C₂H₆, NO
31	0.14	0.31	0.27	C₂H₂OH⁺	C₂H₃OH
32	0.26	—	0.27	O²⁺, S⁺	O₂, H₂S, SO₂
39	0.39	2.57	0.78	C₃H₃⁺	碳氢化合物
41	0.51	7.44	1.07	C₃H₅⁺	碳氢化合物
42	—	—	0.41	C₃H₆⁺	碳氢化合物
43	0.74	8	1.01	C₃H₅⁺	碳氢化合物
44	0.4	—	0.66	C₃H₈⁺, CO₂⁺, N₂O⁺, C₂H₄OH⁺	C₃H₈, CO₂, N₂O, C₂H₄OH
45	—	0.31	0.31	C₂H₅O⁺	C₂H₅OH
50	—	0.23	—	C₄H₂⁺	碳氢化合物

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。

分子量	离子	备注	分子量	离子	备注
1	H⁺	H₂，H₂O，碳氢化合物等	30	NO⁺	污染的真空系统开始排气后出现
2	H₂⁺	H₂，H₂O，碳氢化合物等	31	CH₃O⁺	酒精
3	HD⁺	D的存在比例约0.01%	32	O₂⁺	漏气时N₂₃: O₃₂=4：1
4	He⁺		35	CI⁺
12	C⁺	CO，CO₂，碳氢化合物	37	CI⁺	Cl₃₅：Cl₃₇=3：1
14	N⁺，CH₂⁺，CO₂⁺	N₂，CO₂，碳氢化合物	39	K⁺, C₃H₃+	K⁺从灯丝中分离出来
15	CH₃⁺	有CH₄，CH₃的分子	40	Ar⁺, C₃H₄+	Ar在大气中占有1%
16	C⁺， CH₄⁺	O₂，CH₄，酸素化合物	41	C₃H₅⁺	碳氢化合物
17	OH⁺	H₂O	42	C₃H₆⁺	碳氢化合物
18	H₂O⁺	H₂O，OH+：H₂O+=1：5	43	C₃H₇⁺	碳氢化合物
19	F⁺	有的被吸着在灯丝及电极表面	44	CO₂⁺
20	Ar⁺，H₂O⁺，Ne⁺	存在O₁₅的含量约为0.2%的H₂O(20)	50	C₄H₂⁺	碳氢化合物
22	CO₂²⁺，Ne+	NE₂₂的含量约为8.8%	51	C₄H₃⁺	碳氢化合物
23	Na⁺	有的被吸着在灯丝及电极表面	55	C₄H₇⁺	碳氢化合物
27	C₂H₃⁺	碳氢化合物	56	C₄H₈⁺	碳氢化合物
28	N₂⁺, CO⁺	残留到最后	57	C₄H₉⁺	碳氢化合物
29	C2H5+, N2+, CO⁺	N₁₅的含量约为0.7%，C₁₃的含量约为1.1%

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