显示更多 
丹麦NILT供应各类材质（包括硅、石英、聚合物、镍、PDMS）的纳米压印模板，并根据这些纳米压印母模，复制出高能效的镍、聚合物、PDMS 模片，从而节省客户的成本。NILT纳米压印的母模制造通常会用电子束光刻E-BEAM LITHOGRAPHY或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY，激光干涉蚀刻法几种工艺来制造，NILT公司可以根据客户要求，设计出符合需求的纳米/微米图形，热压印模片。 型号：SILICON NIL STAMPS ……
所属品牌： 欧洲厂商
应用类型：
产品型号：
负责人：陈工
联系电话：13418906712
电子邮箱：chenpeng@welloptics.cn
已经不代理NILT旗下产品，请联系其他代理商
丹麦NIL TECHNOLOGY Aps (NILT) 公司除了提供纳米压印机外，还供应各类材质，各类功能的纳米压印模板，模片和母模，是目前重要的纳米压印模板的世界级供应商之一。其涉及的应用十分广泛，包括光电相关的如折射膜、增光膜、抗反射膜，线路网格、传感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM等。
其中纳米压印模板根据材质的不同分为硅质模板 (Silicon NIL Stamps)，石英 QUARTZ 模板 (Fused Silica NIL Stamps)，镍模片 (Nickel SHIM)，聚合物模板 (Polymer NIL Stamps)，PDMS 掩膜 (PDMS NIL Stamps)
NILT米压印模板可以根据客户要求，设计出符合需求的纳米/微米图形，其母模的制造通常会用电子束光刻E-BEAM LITHOGRAPHY或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY，激光干涉蚀刻法几种工艺来制造。NILT能够为石英或硅晶圆模板为母模，并从中中复制出聚合物、镍、PDMS材质的模片，模板一般以硅晶圆或切割成方块交货给客户作为托底。
NILT硅质模板 (SILICON NIL STAMPS)
丹麦NILT是目前重要硅模板的顶级供应商之一，涉及的应用十分广泛，例如生物科技、蓝宝石图形化PSS。一般通过电子束E-BEAM LITHOGRAPHY, 紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY 或NIL 刻蚀出硅模板，模板上可根据客户需求设计纳米图形。硅NIL模板可以以硅晶圆或切割成方块交货，还可再造出聚合物模片或镍掩膜。
规格：
|
规格 |
|
|
模板材料 |
硅材质 |
|
模板尺寸（晶圆形状） |
2, 4, 6英寸 |
|
模板尺寸（方形） |
从晶圆切割的任何方形格式 |
|
模板厚度 |
2mm |
|
最小横向尺寸 |
20 nm |
|
宽高比 |
最高1:10（取决于模式） |
|
可定制 |
客户指定 |
|
设计文件格式 |
gds，dxf，tdb |
|
防粘 |
FDTS（可选） |
|
交货时间 |
通常为4周 |
NILT熔融石英模板 (FUSED SILICA NIL STAMPS)
熔石英模板因为透明度高所以用得最多应该是在UV 纳米压印UV NIL。
规格：
|
规格 |
|
|
模板材料 |
used silica (Quartz) |
|
模板尺寸（晶圆形状） |
2", 4", 6" |
|
模板尺寸（方形） |
Any format cut from wafers |
|
模板厚度 |
1 mm (other upon request) |
|
最小横向尺寸 |
20 nm |
|
长宽比 |
Up to 1:5 (pattern dependent) |
|
设计 |
Customer specified |
|
设计档案格式 |
gds, dxf, tdb |
|
防粘 |
FDTS (optional) |
|
交货时间 |
Typically 4 weeks |
NILT镍模片 (NICKEL SHIM)
NILT可以从硅晶圆、聚合物或石英材质的模板中复制出镍片。镍掩膜的形状为四方或长方形，尺寸可达600mm X 60mm. 镍模片在纳米压印技术上应用甚广，包括光电相关的如增光膜、抗反射膜，在医学领域和实验室晶片LAB-ON-A-CHIP。
规格：
|
规格 |
|
|
模片材料 |
Nickel |
|
硬度 |
Different alloys are available |
|
模片尺寸 |
2", 4", and square up to 600 mm x 600 mm |
|
模片厚度 |
100 um — 2 mm |
|
最小横向尺寸 |
100 nm |
|
长宽比 |
Up to 1:3 (pattern dependent) |
|
设计 |
Customer specified |
|
设计档案格式 |
gds, dxf, tdb |
|
防粘 |
FDTS (optional) |
|
交货时间 |
Typically 4-6 weeks |
聚合物母模 (POLYMER NIL STAMPS)
NILT同样不会对图形设计作出任何限制。聚合物可以从石英或硅晶圆复制出来，一般交货时都以硅晶圆片托底。 聚合物模板的应用很广，包括折射膜、线路网格、传感器和疏水膜HYDROPHOBIC FILM。
规格：
|
规格 |
|
|
模板ID |
SMSS_SIQZ_V1 |
|
模板尺寸 |
20 mm x 20 mm |
|
模板材料 |
Silicon or Fused Silica |
|
模板厚度 |
1 mm |
|
结构尺寸 |
500 nm - µm |
|
蚀刻深度 |
1 µm or 2 µm in Silicon. 500 nm in Fused Silica |
|
图案字段大小 |
5 mm x 5 mm |
|
交货时间 |
3-4 weeks |
PDMS 母模 (PDMS NIL STAMPS)
PDMS的母模制造通常会用电子束E-BEAM LITHOGRAPHY，NIL蚀刻或紫外光蚀刻UV LITHOGRAPHY，可按客户需求设计纳米图形。 PDMS模片可以从石英或硅晶圆复制出来，一般交货时都以硅晶圆片托底。可应用于MICROFLUIDICS & LOC SHIMS 微流控器&实验室晶片，微流控器&实验室晶片。
规格：
|
规格 |
|
|
模板材料 |
PDMS |
|
模板尺寸（晶圆形状） |
Up to 6 inch round |
|
模板厚度 |
1 mm (other upon request) |
|
最小横向尺寸 |
20 nm |
|
长宽比 |
Up to 1:3 (pattern dependent) |
|
设计 |
Customer specified |
|
设计档案格式 |
gds, dxf, tdb |
|
防粘 |
FDTS (optional) |
|
交货时间 |
Typically 4 weeks |
