作者：叶gx 时间：2024-12-23
Holoor的激光损伤阈值 (LIDT) 测量报告是通过执行标准化的 S-on-1(ISO 21254-2)测试程序来研究样品的 LID，Holoor 的LIDT 值是通过将实验损伤概率数据与假设退化缺陷集合的泊松损伤过程得出的模型拟合来确定的。Holoor激光损伤阈值测试结果：在103-on-1、波长1064nm、频率10 Hz 、脉宽10ns、光束直径(235.1±2.5)µm的情况下，镜片损伤阈值为11.03 J/cm2；在103-on-1、波长1064nm、频率10 Hz 、脉宽4ns、光束直径(235.1±2.5)µm的情况下，光学元件损伤阈值为6.95 J/cm2。
测试设备
镜片损伤阈值测试设置
激光器及其参数
|
类型 |
调Q，Nd:YAG激发 |
|
生产商 |
InnoLas Laser II |
|
型号 |
SpitLight Hybrid |
|
中心波长 |
1064nm |
|
入射角度 |
0.0deg |
|
偏振状态 |
线性 |
|
脉冲重复频率 |
10 Hz |
|
目标平面中的空间光束轮廓 |
TEM00 |
|
目标平面光束直径(1/e2) |
(235.1±2.5)µm |
|
纵向脉冲轮廓 |
单纵模 |
|
脉冲持续时间(FWHM) |
(10.1±0.3)ns |
|
脉冲间能量稳定度(SD) |
1.3% |
能量/功率计
|
生产商 |
Ophir |
|
型号 |
PE50-DIF-C |
|
校准到期日 |
2020-07-01 |
图1.用于测量的激光参数。
镜片损伤阈值测试规范
光学元件损伤阈值定义和测试说明
激光损伤 (LID) 定义为由激光辐射引起的样品表面/体积特性的任何永久性变化，这种变化可通过检测技术观察到，并且灵敏度与相关产品的预期操作有关。激光诱导损伤阈值 (LIDT) 定义为照射到光学元件上的最高激光辐射量，其推断损伤概率为零。1
通过执行标准化的 S-on-1 测试程序来研究样品的 LID。2
LIDT 值是通过将实验损伤概率数据与假设退化缺陷集合的泊松损伤过程得出的模型拟合来确定的。3
光学元件损伤阈值测试点
|
点数量 |
410 |
|
点分布 |
六边形 |
|
点之间的最小距离 |
900um |
|
每个点的最大脉冲数 |
1000 |
激光诱导损伤阈值损伤检测
|
在线 |
散射光二极管 |
|
离线 |
诺马斯基显微镜 |
激光诱导损伤阈值测试条件
|
环境 |
空气 |
|
洁净室(ISO 14644-1) |
ISO7 |
|
大气压 |
1 bar |
|
温度 |
20 ℃ |
|
湿度 |
23% |
样品准备
|
试验前储存 |
正常实验室条件 |
|
吹尘 |
无 |
|
清洁 |
异丙醇 |
1 ISO 21254-1:2011: Lasers and laser-related equipment- Test methods for laser-induced damage threshold- Part 1:Definitions and general principles, International Organization for Standardization, Geneva, Switzerland (2011)
2 ISO 21254-2:2011: Lasers and laser-related equipment- Test methods for laser-induced damage threshold- Part 2:Threshold determination, International Organization for Standardization, Geneva, Switzerland (2011)
3 J. Porteus and S. Seitel, Absolute onset of optical surface damage using distributed defect ensembles, Applied Optics, 23(21), 3796–3805 (1984)
LIDT测试结果
LIDT值
|
103-on-1 |
11.03 J/cm2 |
6.95 J/cm2（缩短至4ns） |
特征损伤曲线
图1：样本 Sample4 的拟合模型估计的 LIDTs
|
测试模式 |
阈值（显微镜离线检测） |
阈值（显微镜离线检测）缩短至4ns |
阈值（散射在线检测） |
阈值（散射在线检测）缩短至4ns |
|
1-on-1 |
22.34 J/cm2 |
14.07 J/cm2 |
22.6 J/cm2 |
14.2 J/cm2 |
|
10-on-1 |
- |
- |
18.9 J/cm2 |
11.9 J/cm2 |
|
102-on-1 |
- |
- |
18.9 J/cm2 |
11.9 J/cm2 |
|
103-on-1 |
11.03 J/cm2 |
6.95J/cm2 |
18.9J/cm2 |
11.9 J/cm2 |
图2.特征损伤曲线
损坏概率（离线检测）
图3.损伤概率图。
典型损伤形态（离线检测）
图 4. 典型损伤形貌：能量密度 13.7 J/cm2，1000 次脉冲后损伤。
图 5. 典型损伤形貌：能量密度 28.2 J/cm2，1000 次脉冲后损伤。
损坏概率（在线检测）
图 6.损伤概率图。
