作者：吴wq 时间：2025-03-14
客户在选购闭环载物台的时候，规格书中的参数名称繁多，而且容易混淆。对于闭环载物台的一些参数表述，本文已西格玛光机的NFS系列闭环控制平台的参数表为例，对规格书中的参数进行简单的整理和解释，帮助客户在选型的时候更深入了解设备的真实情况。
本文以OptoSigma 1nm分辨率闭环控制NFS系列中的NFS60-20UPX为例子进行说明。NFS60-20UPX的主要参数如下表所示。
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1nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表 |
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型号 |
NFS60-20UPX |
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行程（mm） |
20 |
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台面尺寸（mm） |
75×60 |
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滚珠丝杠直径（mm） |
φ4 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
1 |
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定位精度（um） |
1 |
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光栅尺分辨率（nm） |
1 |
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重复定位精度（um） |
0.4 |
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小范围双向重复定位精度 |
±4nm |
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承载能力（N） |
49 |
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最小位移量 |
3nm |
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最大运行速度（mm/sec） |
5 |
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运动平行度（um） |
10 |
滚珠丝杠直径通常代表了闭环位移台滚珠丝杠的外径或者螺纹直径。简单来说，上表的滚珠丝杠直径代表了西格玛光机1nm分辨率闭环载物台NFS60-20UPX的螺杆直径为4mm。滚珠丝杠的直径与其的最大承载量有关，直径越粗，设备承载力越高。但是相对的，滚珠丝杠越粗，工作的速度和精度越低，客户最好是根据自己的应用需求对滚珠丝杠的直径进行选择，合适的滚珠丝杠直径可以给应用提供更好的助力。
分辨率
分辨率是指设备能分辨出来的一个数据，这个数据属于设备能够识别或者检测的最小变化量。表中的OptoSigma 1nm分辨率闭环控制平台NFS60-20UPX的分辨率和光栅尺分辨率分别为1um和1nm，但是实际上的运动步长并不能说达到标准的1um或者1nm。整个系统的实际能达到的标准通常是整体的结构来决定的。SIGMAKOKI NFS系列的分辨率和名称的差距比较大，客户在对闭环位移台选型的时候需要对自己需求的参数进行
重复定位精度和定位精度
重复定位精度是指系统在多次重复相同的运动或定位任务时，能够返回相同位置的能力。在位移台中，重复定位精度表示的是每次定位后，系统能否在相同的条件下将位移返回到相同的位置。表中，西格玛光机1nm分辨率闭环控制平台NFS60-20UPX的重复定位精度为0.4um，代表的是通常的驱动状态下，位移平台重新定位到原来的位置的精度为0.4um前后，而小范围双向重复定位精度为±4nm，则代表了位移平台在很小的范围内的反复定位的准确性能在4nm以内。
定位精度是指系统实际定位到目标位置时，目标位置和实际位置之间的误差。定位精度衡量的是系统在一次性定位时的准确度，表示系统能够移动到目标位置的精确度。OptoSigma 1nm分辨率闭环载物台NFS60-20UPX的定位精度也为1um，但是这个1um的意思实际代表着使用者操控单次达到目标位置的精度为1um。
总体来说，定位精度和重复定位精度的区别不是很大，但是像SIGMAKOKI的1nm分辨率闭环载物台NFS60-20UPX这种存在有小范围双向重复定位精度的参数时，较高的重复定位精度可以得到更好的使用效果。
最小位移量
最小位移量通常指的是闭环位移台理论上能够控制或者移动的距离，表示系统的运动细致程度。SIGMAKOKI的1nm分辨率闭环载物台NFS60-20UPX的最小位移量为3nm，但是这个并不能代表我能精确控制这个最小位移量的数目。最小位移量可以看作步进电机的步长，而不是实际我们能控制的位移大小。
以上就是有关位移台的一些参数名称及其含义的整理，如果需要更多设备参数或者选型的帮助的话，欢迎致电或邮件联系我们。
